| 研究課題/領域番号 |
60870001
|
|---|
| 研究種目 |
試験研究
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
解剖学一般
|
|---|
| 研究機関 | 山形大学 |
|---|
研究代表者 |
外崎 昭 山形大学, 医学部, 教授 (90004572)
|
|---|
| 研究分担者 |
会田 瑳武朗 日本電子株式会社, 電子工学機器技術本部, 研究室長
鷲岳 宏 山形大学, 医学部, 助手 (20091845)
渡辺 晧 (渡辺 皓) 山形大学, 医学部, 助教授 (80004662)
徳永 史生 東北大学, 理学部, 助教授 (80025452)
AITA Saburo JAPAN ELECTRON OPTICS LABORATORY, CO. LTD.
松尾 達也 日本電子(株), 部長
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1985 – 1987
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1987年度)
|
| 配分額 *注記 |
13,000千円 (直接経費: 13,000千円)
1987年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1986年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
1985年度: 8,500千円 (直接経費: 8,500千円)
|
|---|
| キーワード | クリーン真空 / ディープ・エッチング法 / クライオポンプ / 真空蒸着 / 電顕試料 / 凍結レプリカ法 / 真空蒸着装置 / 電顕試料作製法 / フリーズ・エッチング法 |
|---|
| 研究概要 |
標題の目的を達成するため下記のような経過で研究が行われた. [60年度] 1.冷凍ポンプおよび超高真空計の型式の選定: 超高真空室の実施設計に並行して, 以下のような主要部品の型式の選定が行われた. (1)冷凍ポンプ, CRYO-U6クライオポンプ, アルバック・クライオ(株) (2)超高真空計, GI-N5およびヌードゲージ WIN-N_3, 日本真空技術(株) 2.超高真空エッチング・チェーンバーおよび試料挿入棒の実施設計 3.超高真空室の"焼きだし"およびメタルシールの検討 昭和61年1月31日, 上記部品の購入および試作部品の納入が完了し, ただちに試験運転に入った.
[61年度] 1.真空度の連続監視と冷凍機の保守管理コストの検討 2.応用実験と効果の検討
[62年度] 1.超高真空室試料台の加熱方法の基礎的実験 2.試作装置の有効な利用
[総括と今後の展望] 幸いメーカーの協力が得られ, 10^<-9> Torrレベルのエッチング・チェンバーを実現することが出来た. 今後, 可能ならば試料割断面のみを速やかに昇華温度まで加熱し, 試料の全体と試料台とは低温に保たれるような機構を開発したいと考えている. それによって今回実現したクリーン真空が一層有効に利用されることになろう.
|
