| 研究課題/領域番号 |
61104002
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| 研究種目 |
特定研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
御子柴 宣夫 東北大, 電気通信研究所, 教授 (70006279)
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| 研究分担者 |
畑 朋延 金沢大学, 工学部, 教授 (50019767)
中島 信一 大阪大学, 工学部, 助教授 (20029226)
柊元 宏 東京工業大学, 工学部, 教授 (50013488)
生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)
川端 昭 京都大学, 工学部, 教授 (80025832)
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| 研究期間 (年度) |
1986
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| 研究課題ステータス |
完了 (1986年度)
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| 配分額 *注記 |
26,660千円 (直接経費: 26,660千円)
1986年度: 26,660千円 (直接経費: 26,660千円)
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| キーワード | 光音響スペクトロスコピー / 電子音響スペクトロスコピー / 光・熱放射顕微鏡 / 電子線超音波顕微鏡 / 光・熱偏向顕微鏡 / 相関光響分光法 |
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| 研究概要 |
固体材料の新しい評価法として光及び電子音響スペクトロスコピーが注目されている。本研究では、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響スペクトロスコピーの基礎の確立を目的とし、研究サブセンター構想を中心に系統的かつ広範囲な研究を行なった。研究サブセンター及び各研究分担者において、下記にあげる研究成果が達成された。
(1)研究サブセンターでは、紫外から赤外領域にわたる光源と広帯域光変調器を備えた光ビーム走査型音響スペクトロメータ、及び電子ビーム変調機能を備えた電子ビーム走査型音響スペクトロメータが完成している。
(2)研究分担者: 東北大学では、色素レーザ光を用いた光・熱放射顕微鏡を用いてInドープ無転移n型GaAsウエハの微少欠陥の非接触非破壊観察を行なった。
東京大学では、電子線超音波顕微鏡を用いてSEMでは見えないSi-ICの表面下のクラックを観察した。
京都大学では、レーザ加工の際に出る音波をPASを用いて検出した。
東京工業大学では、マイクロホンやトランスジューサを用いたPASによりZnS,ZnSeSonGaAsのPAS信号について半導体表面のポテンシャルがきくことを明らかにした。
大阪大学では、光音響顕微鏡を開発し、Siレーザアニール層をモニタした。
金沢大学では、光熱偏向顕微鏡を開発し、a-SiH:Nの吸収係数をα=10【cm^(-1)】まで測定できる装置を開発した。
その他の分担者においては、マイケルソン干渉法を用いたPASの開発、相関光音響分光法の開発、水中光音響信号計測用セルの開発、EAMによる表面波発生の理論の完成をおこなった。
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