| 研究課題/領域番号 |
61400005
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| 研究種目 |
一般研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
広領域
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
有留 宏明 大阪大学, 極限物質研究センター, 助教授 (70029552)
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| 研究分担者 |
弓場 愛彦 大阪大学, 基礎工学部, 助手 (30144447)
山下 広順 (山下 廣順) 大阪大学, 理学部, 助教授 (80022622)
三井 利夫 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (70000726)
中井 貞雄 大阪大学, 工学部, 教授 (10029019)
難波 進 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (70029370)
佐々木 泰三 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (60012233)
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| 研究期間 (年度) |
1986 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
21,300千円 (直接経費: 21,300千円)
1988年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
1987年度: 5,800千円 (直接経費: 5,800千円)
1986年度: 12,500千円 (直接経費: 12,500千円)
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| キーワード | X線光学 / X線顕微鏡 / 超微細加工 |
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| 研究概要 |
実時間で観測できる小型のX線顕微鏡システムを製作するため、コンパクトなレーザープラズマX線源の開発を行った。
まずスラブ型Ndガラスレーザー(エネルギー8J、繰り返し周波数3Hz、パルス幅40ns)を開発し、これを3×10^<12>w/cm^2に集光して種々のターゲットに照射し、発生するX線の励起強度依存性、ターゲット膜厚依存性、変換効率、X線スペクトルを測定した。変換効率10%以上が得られた。
X線検出器としてマイクロチャンネルプレート(分解能25μm)を用いて、単一X線パルスでX線画像を検出できるシステムをつくった。この検出システムと、コンデンサーゾーンプレートでX線のΔ色化を行い、対物用ゾーンプレートで像の拡大を行うシステムを組み合わせたシステムについて検討した。これにより倍率10倍のX線顕微鏡を構成できることがわかった。
今後さらに高倍率化と高分解能化をはかるためには、まずX線反射鏡によりレーザープラズマX線の集光を行なって高倍率化を達成し、つぎに現在開発されつつあるCCDのようなより高分解能X線検出器と組み合わせる。このことにより、空間分解能100mm以上のコンパクトなX線顕微鏡システムが製作し得ることがわかった。
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