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半導体のレーザ結晶化過程の研究

研究課題

研究課題/領域番号 61550016
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 応用物性
研究機関京都工芸繊維大学

研究代表者

山田 正良  京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (70029320)

研究分担者 笠原 肇  神戸大学, 工学部, 教務職員 (20110801)
研究期間 (年度) 1986 – 1987
研究課題ステータス 完了 (1987年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1987年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
1986年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワードレーザ結晶化 / 熱解析 / 三次元集積回路 / レーザアニール / 半導体 / 温度
研究概要

1)ラプラス変換とグリーン関数を用いて導いた半無限多層構造における熱拡散方程式の線形解を基にして, 多層構造材料の光学定数, 熱伝導率や拡散係数の温度依存性を考慮に入れた数値計算アルゴリズムを確立した.
2)固液間相転移に伴う潜熱の授受を非線形熱解析の数値計算アルゴリズムに取り入れるために, 潜熱の吸収割合を表わす有効温度という尺度を取り入れた. 有効温度が1412゜Cまでは, 通常の温度と等しく, 1412゜C〜2857゜Cの時は部分的溶融状態を示し, 2857゜C以上の時は, 完全に溶融するとした.
3)Si/SiO_2/Si構造で実際にレーザ結晶化を行い, 再結晶化幅を測定した結果と2)で示した数値計算結果と比較することによって, 数値計算アルゴリズムの正当性を確認するとともに, 実効的に溶融する有効温度2100゜Cになることを示した. この有効温度が固液界面形状を決める温度であり実際の温度は1412゜Cで潜熱を丁度半分吸収した状態に相当する.
4)顕微赤外カメラを用いて固液間相転移時の熱輻射像を測定し, 固液間の熱輻射率の相違から, 核結晶の発生や固液界面の動きを可視化し, VTRに記録した.
5)ディジタル画像入出力装置を製作し, VTRに記録した熱輻射像を画像処理することによって, 固液間相転移時には固相と液相が混在し, その混在領域の固相部分を核として結晶化することを明らかにした.
6)固液混在状態は, 照射するレーザビームとの強度分布すなわちそれによって創り出される温度分布によって強く影響されることを明らかにした. しかし, 固液混在状態を支配する物理的機構は複雑で, さらなる研究が必要である.

報告書

(2件)
  • 1987 研究成果報告書概要
  • 1986 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] 山田正良: 第47回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 27P-N-7 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山田正良: Japanese Jounal of Applied Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山田正良: Japanese Jounal of Applied Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Masayoshi Yamada: "Optical Observation of Laser Melting of SOS" Extended Abstracts(The 47th Autumn Meeting, 1976); The Japan Society of Applied Physics. 27P-N-7 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Masayoshi Yamada: "Temperature Distribution Produced in Multilayer Structures by a Scanning CW Elliptical Laser Beam" Japanese Journal of Applied Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Masayoshi Yamada: "Microscope Observation of Laser Melting of Thin Silicon Film" Japanese Journal of Applied Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山田正良: 第47回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 27P-N-7 (1986)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書

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公開日: 1987-03-31   更新日: 2016-04-21  

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