• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

粒状金属薄膜の物性とその電子デバイスへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 61550224
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 電子材料工学
研究機関電気通信大学

研究代表者

森崎 弘  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (00029167)

研究分担者 正木 進  東京工業高等専門学校, 助教授 (90042704)
研究期間 (年度) 1986 – 1987
研究課題ステータス 完了 (1987年度)
配分額 *注記
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1987年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
1986年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワード粒状金属 / アンダーソン局在 / 水の光分解 / 触媒効果 / ガスセンサ / 複合酸化物 / 酸素酸塩 / 粒状半導体
研究概要

本研究によって得られた知見は以下の通りである.
1.Pt/SiO_2系粒状金属膜(GM膜)の電気伝導機構: 薄いGM膜の場合, GM中の金属の濃度が40%付近でアンダーソン局在と呼ばれる金属-絶縁体転移が生じることが明らかになった. 一方, 膜厚が厚くなると, 一旦生じかけたアンダーソン局在が低温で再び消滅する結果が得られた. スピン軌道相互作用によるアンダーソン局在の抑制を指摘した.
2.光-化学エネルギ変換への応用: 水の光分解用半導体電極の安定化と高効率化を目的として, Si表面にGM膜をコートした電極の光電気化学的特性を調べた. その結果, 酸素発生の過電圧が白金電極より約0.7V低減できることが明らかになった.
3.GM膜のガスセンサへの応用: Pt/TiO_2系GM膜は, 酸素及び水素の両方に感度を持つセンサ材料となることが明らかになった. 膜の抵抗は水素を導入すると減少し, 逆に酸素を導入すると増加した. Ptの含有量を変えて測定した結果, GM中の金属の量が増加して金属的伝導を示すようになると感度が全く無くなることが分った.
4.複合酸化物薄膜:GMがあらゆる金属の組合せに対して形成される訳ではない. 各種の複合金属膜を酸化させるとどのような複合酸化膜が形成されるかを系統的に調べた. その結果, 金属のイオン半径の相対的な大きさによって, 複合酸化物が形成される場合と, 酸素酸塩が形成される場合の有ることが明らかになった.
5.粒状半導体薄膜(GS膜): GMを発展させることによって, 半導体微粒子の分散系の製作を試みた. Si/SiO_2系GS膜において, 微粒子化によるバンド端のシフトと吸収特性の異常が観測された.

報告書

(2件)
  • 1987 研究成果報告書概要
  • 1986 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (15件)

  • [文献書誌] S.Masaki: J.Appl.Phys.57. 2953-2955 (1985)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Morisaki: Solar Energy Materials. 14. 13-21 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Morisaki: J.Vac.Sci.Tech.A5. 1767-1770 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Masaki: Proc.10th.Symp.on ISIAT'86,Tokyo. 427-432 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Masaki: Proc.11th.Symp.on ISIAT'87,Tokyo. 403-406 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 小野洋: 信学技報. ED87. 168-1 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森崎弘: "改訂電子デバイス入門" 技術評論社, 320 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Morisaki: "Electrochemical Studies of Granular Metal Films and Their Application for Stabilizing Semiconductor Photoelectrodes" Solar Energy Materials. 14. 13-21 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Morisaki: "New Oxidation State of Tantalum Oxide Formed by Reactive Ion-Beam Cosputtering of Ta and Si" J. Vac. Sci. Tech.A5. 1767-1770 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Masaki: "Reactive Ion-Beam Sputter Deposition of Composite Ta_2O_5/SiO_<> Films" Proc. 10th. Symp. on ISIAT'86, Tokyo. 427-432 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Masaki: "Teactive Ion-Beam Sputter Deposition of Si-Ta-Mo Complex-Oxide Films" Proc. 11th. Symp. on ISIAT'87 Tokyo. 403-406 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Ono: "TiO_2/Pt Granular Metal Films as an Oxygen Sensor(in Japanese)" IEICE Technical Report. ED87. 168-1 168-6 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Morisaki: Introduction to Electronic Devices(Revised Edition). Gijutsu-Hyoron-sha, 320 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.MORISAKI: Solar Energy Materials. 14. 13-21 (1986)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書
  • [文献書誌] H.MORISAKI: J.Vac.Sci.Tech.A. (1987)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書

URL: 

公開日: 1987-03-31   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi