| 研究分担者 |
小寺 正敏 大阪工業大学, 工学部, 助教授 (40170279)
越智 完好 大阪工業大学, 工学部, 講師 (80079582)
梅田 亘赳 大阪工業大学, 工学部, 講師 (30079579)
西川 治良 大阪工業大学, 工学部, 助教授 (00079568)
今井 健蔵 大阪工業大学, 工学部, 助教授 (50079571)
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| 研究概要 |
今回, 超音波素子を立体的に配置した構造での超音波干渉像の観察に成功した. 励振用圧電素子を三角プリズムの2面に配置し, 他の一面に受像用圧電面を形成した3次元構造で得られた超音波干渉像を, 走査形電子顕微鏡によって観察することに成功した.
これまでにも, くし形電極を圧電面に2次元的に配置した構造での観察例は報告されているが, 超音波干渉縞, 特に3次元構造で得られた像の観察例はまだ見当たらない. 今回得られた結果はホログラム形成の基本になるものである.
像情報のコンピュータへの取込みとともに, 立体画像処理についても検討を進め, 良好な結果を得た. 立体像を観察する方法の一つに左右両眼に対応した入力装置からの画像を二つのディスプレイ装置に表示し, それぞれを左右両眼で観察する方法がある.
今回はシリコンウェハーを透過する波動として発生・検出が比較的容易な赤外線を用いシリコン内部ICパターンの観察に成功した.
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