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スパッタ法によるNa_2O-AL_2O_3系ハイブリッド固体電解質薄膜の作成と評価

研究課題

研究課題/領域番号 61550577
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 無機工業化学・無機材料工学
研究機関大阪大学

研究代表者

延谷 宏治  大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (70156222)

研究分担者 小藤 吉郎  大阪大学, 産業科学研究所, 助教授 (40029872)
金丸 文一  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (40029848)
研究期間 (年度) 1986 – 1987
研究課題ステータス 完了 (1987年度)
配分額 *注記
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1987年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
1986年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
キーワード固体電解質薄膜 / βアルミナ / 薄膜超イオン伝導体 / 高周波スパッタリング / 超音波吸収 / 弾性表面波 / 伝導イオンー表面波結合 / β-アルミナ / 伝導イオン-表面波結合
研究概要

次代のシステムやデバイスを担う新材料の開発は, 素材の探索とともにそれらの複合集積化によって創り出される人工機能に大きく依存するようになろう. 薄膜化技術は, こうした機能の設計に適しているだけでなく, 新物質の合成手段としても興味深い.
本課題においては, エネルギーおよびエレクトロニクス用デバイスとして注目されている代表的超イオン伝導体のNaβ-アルミナおよびNa_2O-Al_2O_3系化合物を薄膜状態で合成し, 生成膜のイオン伝導を支配する(1)微細構造, (2)イオンパス, (3)異相間相互作用などの基礎的要因を解析することによって新しい複合機能をもつ高イオン伝導材料の基礎開発を行なうことを目的として研究を進めた.
Na_2O-Al_2O_3系薄膜は, α-Al_2O_3単結晶基板上にスパッタ蒸着をしたアモルファス薄膜の熱処理によって合成し, SAW吸収実験は, 圧電体上を伝搬する表面波の2つの性質, 表面圧電電界と弾性ひずみ, を利用して
SAW-伝導イオン間の圧電結合および局所歪結合をそれぞれ独立に分離して解析できるように工夫した. 2年間の研究で得られた主な成果は,
1.高周波スパッタ法の採用によって, 従来困難とされていた薄膜化に成功するとともに, 薄膜の高イオン伝導をもたらす緻密な粒界組繊と結晶子の優先配向の効果を明らかにした.
2.表面弾性波(SAW)を用いた新しいイオン運動解析法を開発し, その有効性を明らかにするとともに, 伝導イオンと表面波の結合機構を解明した(3).
3.表面波は, 伝導イオンに対して, 誘起圧電電界を介して強く結合するとともに, SAWが誘起する局所的な格子歪を介して結合することを検証し, 伝導イオンー格子系における圧電結合を局所歪結合の存在を明らかにした.
4.β-アルミナのイオン輸送は, 対をなすNaイオンの協同的なイオンジャンプによって起こることを明らかにした.

報告書

(2件)
  • 1987 研究成果報告書概要
  • 1986 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (10件)

  • [文献書誌] Kohji Nobugai: Phonon Scattering in Condensed Matter V,ed.byA.C Anderson,Illinois. 190-193 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 延谷宏治: 日本化学会誌. 2242-2247 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Suguru Inamura: J.Solid State Chem.68. 124-127 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Fumikazu Kanamaru: Mem.Inst.Sci.Ind.Res.,Osaka Univ.45. 77-88 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kohji Nobugai: "Measurements of relaxation time of sodium ions in sputtered thin film beta-alumina" Phonon Scattering in Condensed MatterV, ed. by A.C Anderson,Illinois. 190-193 (1986)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kohji Nobugai: "Preparation of Na <beta>-alumina thin films by rf-sputtering and their ionic conduction" Nihon Kagakukai-shi. 2242-2247 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Suguru Inamura: "The preparation of NaCl-type Ti_1-xAl_xN solid solution" J. Solid State Chem.68. 124-127 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Fumikazu Kanamaru: "Magnetic recording materials" Mem.Inst.Sci.Ind.Res.,Osaka Univ.45. 77-88 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kohji NOBUGAI.: Phonon Scattering in Condensed Mater V.ed.by A.C.Anderson and J.P.Wolfe.Springer.190-193 (1986)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書
  • [文献書誌] Suguru INAMURA: J.Solid Statc Chem.67. (1987)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書

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公開日: 1987-03-31   更新日: 2016-04-21  

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