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表面低温電子顕微鏡法の開発とその固体ガス吸着研究への応用

研究課題

研究課題/領域番号 61880011
研究種目

試験研究

配分区分補助金
研究分野 結晶学
研究機関東京工業大学

研究代表者

八木 克道  東京工業大学, 理学部, 教授 (90016072)

研究分担者 高柳 邦夫  東京工業大学, 理学部, 助教授 (80016162)
谷城 康眞  東京工業大学, 理学部, 助手 (40143648)
研究期間 (年度) 1986 – 1987
研究課題ステータス 完了 (1987年度)
配分額 *注記
12,200千円 (直接経費: 12,200千円)
1987年度: 3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
1986年度: 8,400千円 (直接経費: 8,400千円)
キーワード表面顕微鏡法 / 低温表面 / ガス吸着 / 反射電顕法 / Si(III)表面 / 表面電子顕微鏡 / 反射電子顕微法 / シリコン表面
研究概要

表面顕微鏡法は表面の構造とそのへんかを高い空間分解能で明かにする手法として, ここ数年大きく進歩した. しかし, これまでの観察はおもに高温でなされた. 一方低温の表面は未開拓の分野であった. 最近, 低温でのアルカリ金属吸着等興味ある結果が報告されつつあり, 急速に関心がたまっている. 本研究計画は, 低温表面を観察する目的で特殊試料ホールダーを作製し, それをガス吸着の研究に応用することにある.
本研究計画のうち最も困難が予想されるのは, 試料ホールダーの作製である. 従来, 低温ホールダーさえ作るのが困難で, 色々試みられており, まだ基本的な解決がなされていない. しかし, ここでは試料加熱も併せて行う必要がある. 基本的な困難さは, 加熱時に試料を熱的に浮かせ, 冷却時に試料を低温熱浴に接触させることにある. われわれは, サファイアが高温で熱絶縁がよく, 50K位では銅に匹敵するほど熱伝導がよいことに着目して, ホールダーを設計した. 表面観察のためには, われわれが以前試験研究で開発した反射観察用ホールダーを基本とした. 冷却は, フロータイプで, ステンレスのパイプをサファイアに通し, それに電極-試料という順で冷却される. 従って, 加熱時の熱の逃げも少なくおさえられる.
予備的な実験として, これまで研究してきたSi表面に, 酸素分子ガス, 水素原子を吹き付け吸着構造とそのときのステップの形状の変化を観察した. 水素原子の場合δ7×7構造を作るが, そのときステップの形状変化はない. 加熱によって清浄な7×7構造に回復するときも同様であった. 酸素の場合, 7×7スポットに強度変化があるが, ステップの変化はない. 加熱によってSiOまたはSiO2の形成とそれらの昇華によって表面にはくぼみが出来る. 今後希ガスの吸着などに応用する.

報告書

(2件)
  • 1987 研究成果報告書概要
  • 1986 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (8件)

  • [文献書誌] 八木 克道: J.Appl.Cript.20. 147-160 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 八木克道,谷城康眞: Surfce.Sci. 191. 28-44 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 八木克道,谷城康眞: J.Vac.Sci.TeClr.A5. 1735-1738 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N. Shimizu, Y.Tanishito, K.Takayanagi and K.Yagi: "On the vacancy formation and diffusion on tahe Si(111)7x7 surfaces under exposures loe oxygen prssure studied by in-situ reflection electron mictoscopy" Suface Sci.191. 28-44 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yagi: "Reflection Electron Mictosopy" J.Appi, Cryst.20. 28-44 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Ogawa, Y.Tanishiro and K.Yagi: "Reflection electron microscope study of Pt(111) surfaces" J.Vac. Sci. Tech.A5. 1735-1738 (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1987 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 八木克道: Proc.×1 th Int.Cong.n Electron Microscopy. 1. 79-82 (1986)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書
  • [文献書誌] 太瀬憲寛 他: Jpn.J.Appl.Phys. (1987)

    • 関連する報告書
      1986 実績報告書

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公開日: 1987-03-31   更新日: 2016-04-21  

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