| 研究課題/領域番号 |
62460081
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械工作
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
佐藤 壽芳 東京大学, 生産技術研究所第二部, 教授 (10013103)
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| 研究分担者 |
池野 順一 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助手 (10184441)
大堀 真敬 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助手 (90143528)
谷 泰弘 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助教授 (80143527)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
7,800千円 (直接経費: 7,800千円)
1988年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1987年度: 6,600千円 (直接経費: 6,600千円)
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| キーワード | 真直度 / 測定 / レーザ測定法 / 逐次二点法 / 静圧空気テーブル / 容量型変位センサ / サブミクロン / テーブルの運動 / テーブルの案内 / 繰り返し精度 / レーザー測定法 / 精度測定 / 機械加工 / 逐次2点法 / 平面度 / 2軸エアスライド / 容量型高精度微小変位計 / 高速測定 / パーソナルコンピュータ |
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| 研究概要 |
研究代表者の研究室において開発された逐次二点法は工作機械と加工物等対象の真直度を二点の間隔で測定された相互の変位のデータから求めることが可能な全く新しい真直度測定法であり、その基礎的な性質とμm台の測定に効果を発揮することについて、工作機械の精度改善に寄与することが明らかにされていた。近時の超精密加工の発展により、真直度についてもサブミクロンの精度が望まれる状況にあるが、しばしば実用されているレーザ装置による測定では、繰り返し測定の結果を平均化することが形状精度測定に要求されているように、ばらつきが大きく、サブミクロンの形状精度測定には必ずしも適していないと見られる。
一方超精密加工の動向に対応するべく0.01μmの分解能を有する容量型変位センサが開発されており、逐次二点法にこれを用いることによりサブミクロンの真直度測定の可能性が期待されるに至っている。本研究では工作機械の基本要素であるXYテーブルを対象に逐次法、レーザ測定法により真直度測定を試みた。この結果、レーザ測定法によれば、空気流その他の基づく外乱の影響を平均化等によって極力抑止して安定な測定結果を得た場合に、ようやく真直度の傾向が認められることに終っている。しかし、逐次法によれば、0.1μm台の真直度が繰り返し精度よく求められることを明らかにしている。この際、テーブルの運動の真直度のみらなず、案内の真直度が同時に求められることが大きな特徴であるが、測定データから真直度を求めるアルゴリズムについても、二つの真直度を独立に求める記述を新たに提示し、これによる測定結果を示している。
逐次二点法がサブミクロンの真直度測定にレーザ法よりも安定、かつ精度よく用い得ることを示したが、テーブルの運動に伴う回転の影響の評価については今後の課題である。
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