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クリーンルーム用ロボットの機構と制御

研究課題

研究課題/領域番号 62460104
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 機械力学・制御工学
研究機関東京大学

研究代表者

樋口 俊郎  東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (10111569)

研究分担者 岡 宏一  東京大学, 生産技術研究所, 助手 (10160649)
研究期間 (年度) 1987 – 1988
研究課題ステータス 完了 (1988年度)
配分額 *注記
7,200千円 (直接経費: 7,200千円)
1988年度: 3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
1987年度: 3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
キーワードロボット / 磁気軸受 / クリーンルーム / 真空 / 非接触関節 / 精密位置決め / 力制御 / 振動防止 / 精度位置決め / マニピュレータ
研究概要

本研究は多関節ロボットがクリーンルーム内で作業を行う際に問題となる関節部の機械的接触部から発生する油飛沫や塵埃ををなくすことを目的とする。このために、関節部の軸受およびアクチュエータを磁気軸受の原理に基づいて非接触支持することを提案し、その基礎研究を行った。昭和62年度から63年度にかけて行った研究の成果を以下に述べる。
1.ロボットの関節要素として磁気軸受を用いるときの磁気軸受関節の構造を検討し、機構学と制御方式の観点から評価した。
2.現在提案されているロボットアームの構造を調査し、力学的考察より、磁気軸受関節を用いることに適したロボットを選定した。
3.2の結果と電磁気学の考察から、磁気軸受関節の構造、材質、コイルの形状、巻数、およびロボットアーム全体の寸法、材質、モータの性能などを決定し、ロボットの設計、試作を行った。
4.3で試作した装置を制御するための方法を検討し、その結果に基づいてフィードバック回路、駆動用アンプなどの制御装置を製作した。
5.モータの基本性能や磁気軸受の吸引力の特性などの解析、ロボット各部の重量や慣性モーメントなどの諸元の測定を行い制御パラメータを決定した。
6.5の結果にしたがってロボットの浮上実験を行った結果、磁気軸受を用いたロボットが実現可能であることがわかった。また磁気軸受関節の能動的な制御により試作したロボットは、精密位置決め、力制御、力計測、振動防止などの機能を有することを確認した。
今後は、(1)磁気軸受関節の持つ性能や機能を定量的に評価する。(2)ロボットのダイナミクスを考慮し、高速化や振動の防止をめざす。(3)全ての関節の支持および駆動機構が非接触になるような完全非接触ロボットを開発する。などの点について研究を行う予定である。

報告書

(3件)
  • 1988 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1987 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] 樋口俊郎: 生産研究. 40. 512-515 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: Proceedings of the USA-Japan Symposium on Flexible Automation. 459-466 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 第31回システムと制御研究発表講演会講演論文集. 71-72 (1987)

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  • [文献書誌] 樋口俊郎: 昭和62年度精密工学会秋期大会学術講演会論文集. 117-118 (1987)

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  • [文献書誌] 樋口俊郎: 第5回日本ロボット学会学術講演会予稿集. 405-406 (1987)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 昭和63年度精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集. 865-866 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 第6回日本ロボット学会学術講演会予稿集. 419-420 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 生産研究. 39. 209-214 (1987)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 潤滑. 33. 15-20 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: "Magnetic Bearings;Applications of Magnetic Bearings in Robotics" Springer-Verlag, 390 (1989)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: "Development of Clean Room Robot Using Magnetic Bearings" SEISAN-KENKYU. 40. 512-515 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: "Clean Room Actuators" SEISAN-KENKYU. 39. 209-214 (1987)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: "Prospect of Magnetic Bearing" JOURNAL OF JAPAN SOCIETY OF LUBRICATION ENGINEERS. 33. 15-20 (1988)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: "Development of Clean Room Robot with Contactless Joints Using Magnetic Bearings" Proceedings of the USA-Japan Symposium on Flexible Automation Crossing Bridges: Advances in Flexible Automation and Robotics. 1. 459-466 (1988)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI: "Study of Multi-Articulated Robot with Magnetic Bearings" Proceedings of the 31th Annual Conference of Systems and Control. 71-72 (1987)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] TOSHIRO HIGUCHI; G. SCHWEITZER(Editor): Magnetic Bearings; Applications of Magnetic Bearings in Robotics. Springer-Verlag, 83-99 (1989)

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      1988 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 生産研究. 40. 512-515 (1988)

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      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 昭和63年度精密上学会秋期大会学術講演会講演論文集. 865-866 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] TOSHIHIRO,HIGUCHI: Proceedings of the USA-Japan Syamposium on Flexible Autmation. 456-466 (1988)

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      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 第6回日本ロボット学会学術講演会予稿集. 419-420 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] TOSHIHIRO,HIGUCHI;SCHWEIZER Editor: "Magnetic Bearings;Applications of Magnetic Bearings in Robotics" Spriger-Verlag, 83-99 (1989)

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      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 第31回システムと制御研究発表講演会, 講演論文集. 71-72 (1987)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 昭和62年度精密工学会秋季大会学術講演論文集. 117-118 (1987)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書
  • [文献書誌] 樋口俊郎: 第5回日本ロボット学会学術講演会予稿集. 405-406 (1987)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書

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公開日: 1987-04-01   更新日: 2016-04-21  

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