| 研究課題/領域番号 |
62460131
|
|---|
| 研究種目 |
一般研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
電子機器工学
|
|---|
| 研究機関 | 東北大学 |
|---|
研究代表者 |
清水 洋 東北大学, 工学部, 教授 (00005175)
|
|---|
| 研究分担者 |
鈴木 勇次 山梨大学, 工学部, 講師 (70179266)
中村 僖良 東北大学, 工学部, 教授 (00005365)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
|
| 配分額 *注記 |
6,000千円 (直接経費: 6,000千円)
1988年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1987年度: 5,000千円 (直接経費: 5,000千円)
|
|---|
| キーワード | 弾性表面波 / 擬似弾性表面波 / ラブ波型表面波 / 表面波共振子 / ラブ波型表面波共振子 / IDT共振子 / エネルギー閉じ込め型弾性表面波共振子 |
|---|
| 研究概要 |
弾性表面波を利用したSAWデバイスの広帯域化、小型化、低損失化を達成するためには、電気機械結合係数K^2の大きな基板が必要になる。本研究者は、擬似弾性表面波を伝搬減衰のないラブ波型表面波にすることにより、K^2が30%以上になる表面波基板を見出した。本研究では、まず金、銀などのストリップ電極を周期的に設けるだけで高結合なラブ波型表面波を簡単に実現できることに着目し、その為の諸条件を明らかにする。さらに、これをSAWデバイスに応用し、その飛躍的な広帯域化、小型化、低損失化の達成を目指し、設計・作製方法を確立することを目的とする。本年度は、以下に述べるような研究成果を得た。
1.金属周期ストリップ列下を伝搬する擬似弾性表面波の分散特性の、ストリップ膜厚と基板の切断角θ依存性に対する近似解析法を確立した。2.金属ストリップを用いた場合(1)擬似弾性表面波のラブ波化の条件および(2)その反射器1本当たりの反射係数を求めた。(3)基板の切断角を変えることにより、レーリー波との結合によるスプリアス応答を抑圧できることを確かめた。3.銀ストリップを用いた場合、そのラブ波化の効果とストリップ1本当たりの反射率は、金ストリップの場合より小さいことがわかった。4.金銀ストリップを用いて共振子を構成する場合、周波数上昇型のエネルギー閉じ込め型表面波共振子の構成方法を適用できる。5.共振子の容量比は、3程度と従来の物の1/20以下の値が達成でき、極めて広帯域である。6.金電極による、従来型構造の周波数上昇型のエネルギー閉じ込め型共振子を用いて、その周波数温度特性を測定した。7.IDT共振子では、電極指を菱形状に重み付けることにより、縦モードと横モードに基づくスプリアス応答を同時に抑圧できる。
|
