| 研究課題/領域番号 |
62460137
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子機器工学
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| 研究機関 | 慶応義塾大学 |
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研究代表者 |
小原 寛 (小原 實) 慶鷹義塾大学, 理工学部, 助教授 (90101998)
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| 研究分担者 |
中村 義春 慶鷹義塾大学, 理工学部, 助教授 (90051763)
野口 晃 慶鷹義塾大学, 理工学部, 教授 (90051648)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
6,900千円 (直接経費: 6,900千円)
1988年度: 2,900千円 (直接経費: 2,900千円)
1987年度: 4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
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| キーワード | 紫外光源 / 真空紫外光源 / エキシマ / フラッシュランプ / パルス放電 / マイクロ波放電 |
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| 研究概要 |
1.エキシマ放電中の電子のボルツマン輸送方程式、化学反応および光子のレート方程式から成るコンピュータ・コードを用いて、XeCl,KrF、ArF等の最も発光効率の高い動作条件を明らかにした。
2.(1)に基づいて、エキシマ放電管を試作し、発光スペクトル、発光パルス幅および発光効率を測定した。
3.縦形放電管にF_2/Kr/He/=0.1/7.5/92.4/(%)の75Torrの混合ガスを封入し放電を印加すると、最大パルス幅2.5μsecの248nmのKrFエキシマ発光を得た。F_2濃度を0.1%から1.5%に増加すると、KrFエキシマ発光パルス幅は1.4μsecから0.5μsecと減少した。
4.2.45GHzのマイクロ波放電励起により、100kHzの高繰り返し速度のArF(193nm)およびKrF(248nm)のエキシマランプを、連続放電励起に関しては、疑似連続マイクロ波励起を開発した。パルス幅8ms、高繰り返し速度100Hzのエキシマランプ(ArF、KrF)を開発した。完全な連続放電励起できない理由は、マグネトロン管の安定動作のために、休止時間を設けているためである。
5.真空紫外ArFエキシマランプを55KHzの高繰り返し速度を励起すると、31.5Wの真空紫外光出力が8.2%の内部効率で発生できた。8ms、100Hzの疑似連続動作では、28.8Wの出力が4.4%の内部効率で得られた。これらの時の混合ガスは100Torrで、混合比はF_2/Ar/He/Ne/=2/2/48/48(%)であった。
6.紫外KrFエキシマランプを55KHzの高繰り返し速度で励起すると、平均出力43Wが内部効率12.5%で得られた。8ms、100Hzの疑似連続動作では、平均出力56Wが内部効率8.3%で発生できた。これらの時の混合ガスは50Torrで、混合比はF_2/Kr/He/Ne/=2/1/48.5/48.5(%)であった。
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