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新(熱電子放射)型プラズマCVD装置による立方晶窒化ほう素膜の形成

研究課題

研究課題/領域番号 62460193
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 金属材料
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

一ノ瀬 幸雄  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (00115099)

研究分担者 山本 直紀  長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (90108184)
研究期間 (年度) 1987 – 1988
研究課題ステータス 完了 (1989年度)
配分額 *注記
7,300千円 (直接経費: 7,300千円)
1988年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1987年度: 6,300千円 (直接経費: 6,300千円)
キーワード立方晶窒化ホウ素 / 閃亜鉛鉱型構造 / ダイヤモンド / cBN / p型n型半導体 / hBN / 超高圧高温技術 / プラズマ気相合成 / CVD / 分光システム / 質量分析計 / プラズマ光 / 分光 / CBN / 集量分析計 / cBN膜
研究概要

立方晶窒化ホウ素(cBN)は閃亜鉛鉱型構造に属し、単位格子中にそれぞれ4個のB原子とN原子を含んでいる。この構造中のB原子及びN原子をC原子にそれぞれ置き換えたものがダイヤモンド構造である。したがって、cBNの物性はダイヤモンドのそれに極めて類似している。ダイヤモンドが高硬度、高熱伝導率を特徴としているが、そのことはcBNの特徴でもある。しかしながら、ダイヤモンドと比較して、cBNには2つの大きな特徴がある。その1つはダイヤモンドが切削できない鉄系材料を容易に切削できること、他の1つはp型、n型半導体が容易に作製できることである(ダイヤモンドはn型半導体ができない)。
このような事情から、近年、cBNは各産業界から特にその経済的製造法の開発が強く要望されている。
従来、cBNの合成は人工ダイヤモンドの手法にならい、hBN(六角網面積層構造、通称グラファイト型BN)を原料に適当な触媒を用い超高圧高温処理により行われてきた。現在、工業用に用いられているcBN粉末はこの方法で生産されている。この方法は超高圧高温技術が必要とされ経済性の点で難点があり、より生産性が高くかつ製造技術が容易である気相合成法の開発が望まれている。
以上のような背景から、本研究ではcBNのプラズマ気相合成法を取り上げ研究したもので、製造技術の開発ならびに生成要因を究明し最終的にcBN単相膜の合成に成功すると共に、cBNの生成機構について新しい生成モデルの概念を提案した。

報告書

(3件)
  • 1989 研究成果報告書概要
  • 1988 実績報告書
  • 1987 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] H.Saitoh,T.Fujii,T.Ishiguro and Y.Ichinose: "BN films deposited by the rf plasma CVD thermally assisted with tungsten filament" Supplement to Trans.JIM. 29. 299-302 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh,T.Hirose,H.Matsui Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Synthesis of BN films by the plasma CVD with various solids:BH_3NH_3,H_3BO_3 and NaBH_4" Surface and Coatings Technology. 39/40. 265-273 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh,H.Matsui,T.Hirose Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Plasma spectrophotometry in cBN formation processing with varions solids(BH_3NH_3 H_3BO_3 and NaBH_4)" 19th Biennial Conference on Carbon,Ext.Abst.Progr.424-425 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Morino,T.Ohtsuka,T.Hirose,H.Saitoh,Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Synthesis of cBN films by DC plasma jet method" 19th Biennial Conference on Carbon,Ebt.Abst.Progr.426-427 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 斉藤秀俊,弘津禎彦,一ノ瀬幸雄: "熱活性型RFプラズマcVD法によるBN膜の生成条件" 日本金属学会誌. 54. 186-192 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh. T.Fujii, T.Ishiguro and Y.Ichinose: "BN films deposited by the rf plasma CVD thermally assisted with tungsten filament" Suppl. to Trans.JIM, Vol.29(1988), 299.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh, T.Hirose, H.Matsui, Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Synthesis of BN films by the plasma CVD with various solids: BH_3NH_3, H_3BO_3 and NaBH_4." Surface and Coatings Technology, Vol.39/40(1989), 265.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh, H.Matsui, T.Hirose, Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Plasma spectrophotometry in cBN formation processing with various solids (BH_3NH_3, H_3BO_3 and NaBH_4)" 19th Bien nial Conf. on Carbon (June 25-30.1989. in PennState). Ext. Abst. Progr., p.424.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Morino, T.Ohtsuka, T.Hirose, H.Saitoh, Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Synthesis of cBN films by DC plasma jet method." 19th Biennial Conf. on Carbon (June 25-30, 1989, in PennState), Ext. Abst. Progr., p.426.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh, Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Conditions for form action of BN film by thermally assisted rf plasma CVD" JIM, 54(1990), 186.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Saitoh;T.Fujii;T.Ishiguro;Y.Ichinose: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON Non-Equilibrium Solid Phases of Metals and Alloys(SYMPOSIUM PROCEEDINGS).

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書
  • [文献書誌] N.Yamamoto;K.Nishida;H.Morino;Y.Ichinose: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON Non-Equilibrium Solid Phases of Metals and Alloys(SYMPOSIUM PROCEEDINGS).

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書

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公開日: 1987-04-01   更新日: 2016-04-21  

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