| 研究課題/領域番号 |
62460224
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
結晶学
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
高間 俊彦 北海道大学, 工学部, 助教授 (40001309)
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| 研究分担者 |
丸川 健三郎 北海道大学, 工学部, 教授 (20001191)
佐藤 進一 北海道大学, 工学部, 教授 (80001121)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
7,500千円 (直接経費: 7,500千円)
1988年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1987年度: 5,500千円 (直接経費: 5,500千円)
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| キーワード | 動力学的X線回折 / 均一曲げ変形 / 白色X線 / ペンデルビート / 固体半導体検出器 / シリコン / ラウエケース / 動力学的回折現象 / 曲げ変形 |
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| 研究概要 |
研究担当者らは、白色X線を平板完全結晶に入射させ、波長変化に伴うペンデルビートの強度変化を測定して、ビートの位置から構造因子の値を精密に求める方法を開発した。本研究では、完全結晶に均一な曲げ変形が導入された場合、ペンデルビートがどのような影響を受けるかを、上記の手法で調べた。また、得られた結果を、歪を含む動力学回折理論と比較し、理論の妥当性の検討した。
シリコンの無転位FZ単結晶のingotから、一定の厚さを持つ二等辺三角形状の試料片を切り出した。均一曲げ歪は、三角形の底辺を固定しながら頂点を表面に垂直方向に微小変位させて導入した。測定は、弾性異方性の影響を調べるため、表面方位が〔001〕と〔111〕の二種類の試料で行った。
曲げの曲率を増加させながら、多数の反射面についてペンデルビートを測定したところ次の変化が認められた。
1.非対称ラウエケースでは、(1)ビートの位置が短波長側に移動し、(2)ビートの振幅が減少し、(3)積分反射強度増大する。
2.1の変化は、反射面の指数、反射面と結晶表面との幾何学的配置に依存し、短波長側程その変化は顕著であった。
3.一方、対称ラウエケースでは、〔111〕方位の試料の(42^^ー2^^ー)反射では、上と同様の現象が見られたが、〔001〕方位で曲げの軸が〔1^^ー10〕の(220)反射では、曲げ変形の影響が見られなかった。
4.これらの測定結果は、Katoによる歪を含む動力学回折理論で、シリコンの弾性異方性を考慮することで、ほぼ説明された。
5.今後、均一曲げ歪の他に微小格子欠欠陥が完全結晶中に統計的に分布した場合の回折現象を、同様の手法で研究する予定である。
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