| 研究課題/領域番号 |
62470068
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
無機工業化学・無機材料工学
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| 研究機関 | 青山学院大学 |
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研究代表者 |
松本 修 青山学院大学, 理工学部, 教授 (80082759)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
6,000千円 (直接経費: 6,000千円)
1989年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1988年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1987年度: 4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
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| キーワード | ダイヤモンド / 透明半導反動性炭素質膜 / 立方晶窒化ホウ素 / 非平衡薄膜 / マイクロ波放電 / プラズマジェット / ECR / 透明半導性炭素質膜 / 透明導電性ポリマー / 薄膜 / プラズマ / 直流プラズマジェット / 窒化ホウ素 / 透明半導性ポリマー |
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| 研究概要 |
1.(1)マイクロ波放電を利用して発生したメタン-水素プラズマからダイヤモンドを析出する際に、プラズマ中に生成される原子状水素がダイヤモンドと共析出するグラファイトを化学スパタリングによって除去することを確認した。一酸化炭素-水素プラズマからダイヤモンドを析出した。この際、Fischer-Tropsch反応によって生成されるCHxを経てダイヤモンドが析出する反応スキ-ムを提案した。
(2)アルゴン-メタン-水素プラズマジェットを利用してダイヤモンドを析出する際にもある濃度以上の水素によってメタンを希釈する必要性を見出した。又ダイヤモンドを析出する際に用いる基板の相違によって基板上析出物が異なることが見出された。これは基板金属への水素の溶解度の差によると推測した。
2.ECRプラズマ発生装置によって発生したメタンプラズマからECP点の放電管内壁上に置いた基板上に無色透明で、半導性を有する重合炭素膜を析出した。この膜は三次元橋かけ構造を有するポリマ-中に黒鉛の微結晶が分散したもので、ラジカル反応によって生成された三次元ポリマ-中に放電管の半径方向における電位分布によって加速された炭素イオンがグラファイトとして析出して分散したものと推測される。
3.マイクロ波放電によって発生したB_2H_6-N_2-Ar混合プラズマより六方晶ウルツ鉱型および立方晶型窒化ホウ素の混合物の析出を認めた。NHおよびBHラジカルが放電中に見出されたことから、これ等ラジカルが基板上において反応し、BNが生成されたと推測した。
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