| 研究課題/領域番号 |
62470106
|
|---|
| 研究種目 |
一般研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
化学工学
|
|---|
| 研究機関 | 金沢大学 |
|---|
研究代表者 |
江見 準 金沢大学, 工学部, 教授 (90025966)
|
|---|
| 研究分担者 |
大谷 吉生 金沢大学, 工学部, 助手 (10152175)
金岡 千嘉男 金沢大学, 工学部, 教授 (00019770)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1987 – 1989
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,700千円 (直接経費: 5,700千円)
1989年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1988年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1987年度: 4,700千円 (直接経費: 4,700千円)
|
|---|
| キーワード | 超高性能エアフィルタ- / 低圧力損失 / 繊維径 / 繊維配向 / エレクトレットフィルタ- / 経時変化 / メンブレンフィルタ- / 超高性能エアフィルター / ヘパフィルター / エレクトレットフィルター / 性能評価 / クリーンルーム / 繊維層 |
|---|
| 研究概要 |
精密加工技術の進歩と共に、製品の歩留りを上げるために、より高度な清浄空間が要求され、クリ-ンル-ムでは従来のHEPAフィルタ-よりさらに集塵性能の優れたULPAフィルタ-がス-パ-クリ-ンル-ムに用いられるようになった。さらに、半導体プロセスガス供給ラインには、上記フィルタ-より捕集効率が数桁高いメンブレンフィルタ-が使用されている。このように捕集効率が現場の要求を満たすに十分な値に達っした現段階では、集塵性能のもう一つの指標である圧力損失をいかに低く抑えるかが、省エネの面からこれからの課題となっている。本研究では以上の観点から、捕集効率と圧力損失を同時に考慮に入れた集塵性能評価の指標I=lnP/Δp(Pは粒子透過率、Δpは圧力損失)を導入し、繊維層フィルタ-およびメンブレンフィルタ-の内部構造の集塵性能に及ぼす影響を検討した。さらに省エネ型フィルタ-として、将来の実用化が期待されているエレクトレットフィルタ-の性能と安定性についても理論と実験の両面から考察した。
その結果、繊維層については、繊維径が小さいほど、また流れに平行配列の繊維が多いほど、さらにフィルタ-強度を保つために混入されているバインダ量が少ないほど、I値が大きく性能が向上することがわかった。またメンブレンについては、その構造を多孔状から繊維状まで5種類に大別し性能を測定したところ、構造が多孔状から繊維状に移行するにつれI値が大きくなることがわがった。またこれまで解明されていない捕集効率推定に関しては、通路モデルを導入することにより現象をうまく説明できることがわかった。さらにエレクトレットフィルタ-に関しては、初期捕集効率の推定法を確立すると共に、長時間使用による効率低下の傾向を実験的に示し、温度や大気塵に対しては安定であること、有機性ミストに対しては効率低下が著しいことなどがわかった。
|
