研究課題/領域番号 |
62550042
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研究種目 |
一般研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
応用物理学一般
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研究機関 | 大阪府立大学 |
研究代表者 |
佐々木 亘 大阪府立大学, 工学部, 助教授 (30081300)
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研究分担者 |
黒沢 宏 大阪府立大学, 工学部, 講師 (80109892)
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研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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配分額 *注記 |
2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1988年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1987年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
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キーワード | 希ガスエキシマレーザー / 真空紫外レーザー / 放電励起 / エキシマ / エキシマスペクトル / エキシマレーザー / 放電励起エキシマスペクトル |
研究概要 |
初年度で設計製作した、10気圧用のレーザー管を用いて、放電励起における希ガスエキシマの生成機構を詳しく調べ、次のような成果を得た。実験は主にArガスについて行った。 (1).アルゴンエキシマの連続スペクトルは90nmから146nmの範囲で電子ビーム励起の場合より広い。 (2).連続スペクトルのピーク126nmの強度はアルゴンガス圧の上昇に従って急激に増加し、その依存性は圧力P^<1.2>であった。 次にエキシマ状態の一重項と三重項の混合過程を調べ次のことが明らかになった。 (1).低圧から1気圧までは、混合過程による三重項から一重項へのエネルギ移乗は電子衝突によることが分かった。 (2).1気圧以上のガス圧では、基底状態のArガスとの二体衝突が重要になってくる。 (3).混合過程の実験データから推測すると本実験の放電プラズマの電子密度は10^<10>cm^3以下と思われ、従来我々が行ってきた電子ビーム励起の場合の10^<13>cm^3よりかなり小さいことがわかった。 高気圧放電においては、予備電離が非常に重要であることが明らかとなったので、種々電極形状について電子密度を測定した結果、次のような問題点がわかった。 (1).コロナ予備電離は弱く、電子密度が10^7cm^3以下しか得られなかった。実際に必要な電子密度は10^8cm^3以上であるので、改良を要する。 (2).共振器用鏡の評価を行いSiC、Moが優れていることがわかった。 以上本年度の成果をふまえて、更に詳しい励起機構の解明、方式の改良、レーザー利得の測定を行う基礎ができた。
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