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表面顕微鏡法による表面の観察と解析

研究課題

研究課題/領域番号 62609511
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関東京工業大学

研究代表者

八木 克道  東京工業大学, 理学部, 教授 (90016072)

研究分担者 西川 治  東京工業大学, 総合理工学研究科, 教授 (10108235)
高柳 邦夫  東京工業大学, 理学部, 助教授 (80016162)
研究期間 (年度) 1987
研究課題ステータス 完了 (1987年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1987年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワード表面顕微鏡 / 光電子顕微鏡 / シリコン表面 / アトムプローブ / STM / 反射電顕法 / 表面エレクトロマイグレーション
研究概要

本研究は, (1)電子, 光電子顕微鏡法の開発とその表面研究への応用, (2)STM型電子顕微鏡法による表面に局存した電子状態の観察, (3)FIMによる吸着膜の構造の観察の3つよりなる. それぞれ今年度は計画の年であるので, 今年度の実績は既存の研究装置による研究成果である. 八木らは, SiCIII)面に酸素をさらしたときの表面構造の変化を調べ, SiOの形成と界章によるくぼみ形成から表面拡散に関する知見を得た. またPt上に成長したAu層のコントラストを動力学回折理論を用いて解析した. その結果コントラストはPtPy間に比べてPt-Au層間の間隔が広いためであることが解った. 一方, 重点領域へ他の研究者との協力を得て表面エレクトロマイグレーションの反射電顕法による観察を行い, Auの場合5×1構造が電流と逆方向にしTuの場合5×1構造が電流の方向に移動するのが観察された. 高柳らは, 反射電顕法を用いて相変態, 吸着過程を調べた. 特にPdの^<83>構造はTuBt層となっていることをはじめて見い出した. 一方現在開発中のSTMについては原子しベルの分確能があることを確認している. 西川らはポリピロールの酸化のミクロプロセスをアトムプローブFIMで解析して新しい知見をえている.

報告書

(1件)
  • 1987 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] 八木 克道: J.Appl.Crysy.20. 147-160 (1987)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書
  • [文献書誌] 八木 克道: Surface Sci.191. 28-44 (1987)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書
  • [文献書誌] 高柳 邦夫: Jpn.J.Appl.Physis. 26. L957-L960 (1987)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書
  • [文献書誌] 西川 治: J.Chem.Phys.85. 6758-6764 (1986)

    • 関連する報告書
      1987 実績報告書

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公開日: 1987-04-01   更新日: 2016-04-21  

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