| 研究課題/領域番号 |
62850004
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
物理計測・光学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
本田 捷夫 (1988) 東京工業大学, 工学部, 助教授 (10016503)
辻内 順平 (1987) 東京工業大学, 工学部, 教授
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| 研究分担者 |
大山 永昭 東京工業大学, 工学部, 助教授 (50160643)
本田 捷夫 東京工業大学, 工学部, 助教授 (10016503)
辻内 順平 千葉大学, 工学部, 教授 (90016254)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
10,800千円 (直接経費: 10,800千円)
1988年度: 3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
1987年度: 7,500千円 (直接経費: 7,500千円)
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| キーワード | 干渉計 / コモンパス / コニカル非球面 / フリンジ・スキャン / ヌルテスト / 散乱光干渉 / ゾーンプレート / 縞画像処理 / 偏光干渉 / PZT / 形状回帰 |
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| 研究概要 |
光学部品の形状あるいは光学系の特性の計測・検査の一方法として、干渉計が用いられてきたが、被検表面が非球面である場合には一般に干渉縞が密になりすぎ、形状そのものあるいは設計形状からの誤差の測定は極めて困難になる。このためにはヌルテストが不可欠であり、更に天体望遠鏡等で用いられる大口径・長焦点距離の凹面非球面の形状の測定のためにはコモンパス干渉計が必須である。この背景より、本研究の目的はコモンパス干渉計の一つである拡散板(Scatter Plate)干渉計で凹面非球面形状のヌルテストを高精度で測定できるシステムを開発することとした。
この目的に沿って次の3つの部分にわけて研究をおこなった。
(1)凹面回転対象非球面鏡のヌルテストを実現するスキャッタ・プレート干渉計及びゾーン・プレート干渉計の開発と、その制限条件に関する考察。
(2)コモンパス干渉計においてフリンヂ・スキャンを実現する光学系および高精度位相決定法の開発。
(3)特に(2)を測定現場で実現する自動計測システムの試作。
そして、以上のそれぞれの研究をつなげた計測システムを開発し、そのシステムを用いていくつかの凹面非球面(主に放物面)についてそのヌルテストをおこない、試作第一号として十分使える見通しを得た。将来的には、本研究で開発した計測システムに改良を加えて(ハード部、ソフト部とも)より使いやすく、適応測定範囲の広いシステムに向上させていきたいと考えている。
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