| 研究課題/領域番号 |
63102004
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| 研究種目 |
特定研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
末田 正 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (20029408)
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| 研究分担者 |
許 瑞邦 神奈川大学, 工学部, 教授 (10078298)
波岡 武 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (90015743)
中島 将光 京都大学, 工学部, 助教授 (60025939)
多田 邦雄 東京大学, 工学部, 教授 (00010710)
西原 浩 大阪大学, 工学部, 教授 (00029018)
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| 研究期間 (年度) |
1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
28,800千円 (直接経費: 28,800千円)
1988年度: 28,800千円 (直接経費: 28,800千円)
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| キーワード | 光集積回路 / 光ICセンサ / ヘテロダイン光計測 / タンタル酸リチウム / 軟X線多層膜フィルター / 光平面回路 / ARROW / 光波形観測 |
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| 研究概要 |
1)シリコン基板導波路の利用を考え、微細加工技術を組合せて新センサを実現する可能性を追及した。具体的にはダイアフラム、カンチレバ構造を考え、圧力、流量などによるそれらの変形を干渉形光回路によって検出する。解析および試作・実験によって基本的な動作を確かめた。
2)周波数シフタを含むLiNbO_3デバイスと、マイクロフレネルレンズアレイをハイブリッド集積化した差動型・光集積LVDを提案、試作し、SN比20dBで物体の回転速度が検出できることを実証した。
3)導波型pHセンサを試作し光変調器部の動作を確認した。プロトン交換LiTaO_3光導波路を作成した。DFBレーザに関して0.88μm帯での実用可能性、0.78μm帯で低閾値室温発振特性を得た。
4)電界センサとして反射型光変調器の解析し、実際に電界を測定できることを確かめた。分岐干渉形光変調器を設計・試作し、数V/cm程度の電界測定の可能性を確認した。導波路分岐角の拡大法を考案した。
5)膜厚数nmの極薄膜資料についての各物質の軟X線光学定数データの集積を更に進めた。これらをもとに高エネルギー研究所(PF)光CVDライン用反射型多層膜フィルタを試作し、その実用性を確かめた。
6)光平面回路の考え方を整理し、それを支配する表面波平面回路方程式を導出して3次元導波路に本手法を適用し、その有用性を確かめた。実際にストリップ型光導波路を試作し、理論解析との良い一致を見た。
7)ARROW型干渉計と光検出器とを集積した。それらの高効率結合法を明らかにし、実際にそれらを集積した素子を試作して、デュアルコアファイバと組合せた温度センサによってその基本的動作を確認した。
8)Cu拡散LiTaO_3光導波路の高精度作成法を確立した。これを基礎に全反射型光スイッチを試作しその基本的な動作を確認した。ファイバ束保持用にSi基板異方性エッチングによりV溝治具を作成した。
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