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結晶表面からのX線散乱の基礎ー理論と実験

研究課題

研究課題/領域番号 63302065
研究種目

総合研究(A)

配分区分補助金
研究分野 結晶学
研究機関名古屋大学

研究代表者

原田 仁平  名古屋大学, 工学部, 教授 (80016071)

研究分担者 橋爪 弘雄  東京工業大学, 工業材料研究所, 教授 (10011123)
飯田 厚夫  高エネルギー研究所, 放射光施設, 助教授 (10143398)
石田 興太郎  東京理科大学, 理工学部, 教授 (30012404)
浦上 澤之  岡山理科大学, 教養部, 教授 (80151942)
川村 隆明  山梨大学, 教育学部, 助教授 (20111776)
高橋 敏夫  東京大学, 物性物理学研究所, 助教授 (20107395)
石川 哲也  高エネルギー物理学研究所, 放射光実験施設, 助手 (80159699)
研究期間 (年度) 1988 – 1989
研究課題ステータス 完了 (1989年度)
配分額 *注記
11,500千円 (直接経費: 11,500千円)
1989年度: 2,900千円 (直接経費: 2,900千円)
1988年度: 8,600千円 (直接経費: 8,600千円)
キーワード表面・界面 / すれすれ入射X線散乱 / CTR散乱 / 超微量X線分析 / 格子歪 / 表面の形態 / 再構築構造 / X線表面散乱 / 結晶表面構造 / 再構築表面 / 表面格子緩和 / グレージング入射条件 / 放射光
研究概要

本研究班員は、それぞれ多少異なった観点からX線散乱を用いて結晶表面の研究を進めてきた。昭和63年度は、米国のBell研より来日した、Dr.Robinsonを迎えシンポジウムを開いた。また班員相互の理解を深めるための討論会も開いた。これらの会合で国際的な交流の基礎も出来た。
平成元年度には、5月末、フランス・マルセイユで第1回「すれすれ入射条件のもとでのX線・中性子線散乱による、表面・界面・薄膜の研究」と題する国際シンポジウムが開かれ、本研究班から原田と橋爪が参加した。原田は、X線散乱で得た半導体結晶表面の形態について招待講演を行い、橋爪は口頭発表を行なった。共に好評であり、昨年度得た国際交流の成果を更に発展させることが出来た。
平成2年2月1日〜2月3日には、箱根・静雲荘で研究成果を検討する研究会を開いた。この場で、川村は表面散乱に関して一歩進んでいる電子線回折における理論のX線回折への適用を検討した結果を発表した。また、柏原、柏倉、原田等の結晶表面からの棒状X線散乱の解析から得た知見に基づいて、石田及び浦上は結晶表面に歪が分布する場合のブラグ反射におけるプロファイルを理論的に検討した。そこで、棒状X線散乱(CTR散乱)の基本的な様相、結晶表面の乱れや格子歪が散乱X線のプロファイルにどの様な影響をもたらすかが議論され、それを説明する理論がほぼ完成した。また、清浄表面に金属をエピタキシャル成長させて作られた超格子の構造解析も、高橋、橋爪等により進められた。加えて、石川は、入射X線の空間的なコヒ-レンスの長さを調べ、飯田はSR光を用いた蛍光X線測定による表面吸着原子を調べる研究の現状を報告した。

報告書

(3件)
  • 1989 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1988 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (29件)

  • [文献書誌] A.Iida: "Near Surface Analysis of Semiconductor using Grazing Incidence X-Ray Fluorescence." "Advances in X-Ray Analysis". vol.31 edited by C.S.Barret et al.(1988)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ishikawa: "Measurement of the Coherence Length of Highly Collimated X-Rays from the Visibility of Equal-Thickness Fringes" Acta Cryst. A44. 496 (1988)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ishikawa: "Observation of Minute Strain Fields in Siiicon Single Crystals by X-Ray Topography" Oyo Butsuri, 57 (1988) 1496 (in Japanese).

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Takahashi S.Nakatani: "Study on the Si(111)ROO<3>XROO<3>-Ag Surface Structure by X-Ray Diffraction" Jpn. J. Appl. Phys., 27 (1988) L753.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Hashizume I.Minato H.Kusuhara A.Yamanaka: "Cylindrical Position Sensitive X-Ray Detector for Fast Powder Diffractometry" Rev. Sci. Instrum, 60 (1989) 2311.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Hashizume O.Sakata: "Dynamical X-Ray Diffraction from Perfect Crystals under Grazing-Incidence Conditions" Rev. Sci. Instrum, 60 (1989) 2373.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Kawamura: "Calculation of RHEED Intensity from Growing Surface" "Reflection High-Energy Electron Diffraction and Reflection Electron Imaging of Surfaces" ed. by P.K.Larsen and P.J.Dobson. 501 (1988 Plenum)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kashihara S.Kimura J.Harada: "X-Ray Measurement of the Crystal Truncation Rod Scattering from Cleavage Surfaces of Ionic Crystals" Surface Sci., 214 (1989) 477.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Harada N.Kashiwagura: "Surface Morphology of Mechanically and Chemically Polished Semiconductor Wafers" Colloque de Physique, Colloque C7, 50 (1989).

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Harada M.Takata H.Miyatake H.Komiya: "A Direct Investigation of Lattice Relaxation at a Crystal Surface by Optical Transforms of Surface Profile Images" J. Appl. Cryst., 22 (1989) 592.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1989 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kashihara,S.Kimura,J.Harada: "X-Ray Measurement of the Crystal Truncation Rod Scattering from Cleavage Surfaces of Ionic Crystals" Surface Sci.214. 477-492 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] J.Harada,N.Kashiwagura: "Surface Morphology of Mechanically and Chemically Polished Semiconductor Wafers" Colloque de Physique,Colloque C7. 50. C7・129-C7・144 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] J.Harada,H.Miyatake,M.Takata,H.Koyama: "A Direct Investigation of Lattice Relaxation at a Crystal Surface by Optical Transforms of Surface Profile Images" J.Appl.Cryst.22. 592-600 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ishikawa: "X-Ray Monochromators for Circularly Polarized Incident Radiation" Rev.Sci.Instrum.60. 2058-2061 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] A.Iida,Y.Gohshi,K.Sakurai,S.Komiya: "Analysis of Contamination Layer of InP during LPE Process by Synchrotron Radiation-Excited X-Ray Fluorescence." Jpn.J.Appl.Phys.27. L1825-L1828 (1988)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] T.Takahashi,T.Ishikawa,S.Nakatani,S.Kikuta,N.Okamoto: "Studies on Si(111)√<3>-Bi andーAg Surfaces by X-Ray Diffraction under Nearly Normal Incidence" Rev.Sci.Instrum.60. 2365-2368 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Yasuharu KASHIHARA;Jimpei HARADA.: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 27. 522-527 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] K.OHSHIMA;J.HARADA;M.MORINAGA;P.GEORGOPOULOS AND J.B.COHEN: Acta Crystallographica. A44. 167-176 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] A.W.STEVENSON;S.W.WILKINS;J.HARADA;N.KASHIWAGURA; 他: Acta Crystallographica. A44. 828-833 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] Jimpei Harada.: Australian Journal of physics. 41. 351-357 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 原田仁平: 日本結晶学会誌. 30. 90-95 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ishikawa: Acta Crystallogr.A44. 496-499 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] S.Kojima;S.Kawado;T.Ishikawa;T.Takahashi;S.Kikuta.: Jpn.J.Appl.Phys.,. 27. L1377-L1379 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 石川哲也: 応用物理. 57. 1496-1504 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] T.Takahashi;S.Nakatani;N.Okamoto;T.Ishikawa;S.Kikuta.: Jpn.J.Appl.Phys.,. 27. L753-L755 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] H.Hashizume;T.Nakahata: Jpn.J.Phys.27. L1568-L1571 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] H.Hashizume;T.Nakahata.: Jpn.J.Appl.Phys.27. L1568-L1571 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] O.Sakata;H.Hashizume.: Jpn.J.Appl.Phys.27. L1976-L1979 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 高良和武 編 石川哲也、橋爪弘雄、原田仁平 他: "X線回析" 共立出版株式会社, (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書

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公開日: 1988-04-01   更新日: 2016-04-21  

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