| 研究課題/領域番号 |
63420036
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| 研究種目 |
一般研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子機器工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
後藤 俊夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023255)
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| 研究分担者 |
平松 美根男 名城大学, 理工学部, 講師 (50199098)
岸本 茂 名古屋大学, 工学部, 教務員 (10186215)
河野 明広 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40093025)
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
24,700千円 (直接経費: 24,700千円)
1990年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1989年度: 13,400千円 (直接経費: 13,400千円)
1988年度: 9,300千円 (直接経費: 9,300千円)
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| キーワード | 自動予備電離 / 縦型放電励起 / 高速紫外パルスレ-ザ / 窒素レ-ザ / XeClエキシマレ-ザ / 矩形断面レ-ザ管 / レ-ザ吸収分光測定 / 準安定原子 / 電子密度 / シュタルク幅法 / 準安定原子密度 / 高速紫外パルスレーザ / 自動予備電離方式 / 窒素レーザ / XeClエキシマレーザ / 準安定準位密度 / レーザ吸収分光測定 / 電子密度測定 |
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| 研究概要 |
研究目的縦型放電励起の紫外パルスレ-ザは装置が小型になり、良質なビ-ムが得られるが、有効な予備電離方式がなく、従来十分研究されてこなかった。しかし我々は新しい予備電離方式及び放電管形状を考案し、実用的に魅力のある小型縦型放電励起の窒素及びエキシマレ-ザの発振に成功した。本研究の目的はこの縦型放電励起窒素及びXeClレ-ザの装置的・物性的研究を系統的に行い、実用化の基礎を確立することである。研究成果1.レ-ザ装置(励起回路系、レ-ザ管、ガス供給系等)を設計製作して、円形断面の自動予備電離縦型放電励起XeClエキシマレ-ザ及び窒素レ-ザの発振を得、レ-ザ出力特性を詳細に調べて、最適条件を決定した。2.レ-ザ出力を増加させることを目的として、矩形断面の縦型放電励起窒素レ-ザを考案し、円形断面型レ-ザより大きな出力が得られることを示した。3.サイラトロンを用いて縦型放電励起紫外パルスレ-ザの高繰り返し化を計り、100Hz以上の繰り返し周波数まで比較的安定なレ-ザ動作を得た。4.準安定原子密度を測定するためのCW色素リングレ-ザ吸収測定系を設計・製作し、縦型放電励起XeClレ-ザ放電中のHe準安定原子の計測を行って、現在までにその密度の時間依存性を得ている。5.レ-ザ出力特性、電圧電流特性等の測定結果と、シミュレ-ション解析とを組み合わせて、縦型放電励起窒素レ-ザ及びXeClレ-ザの動作解析を行った。6.上記の研究によって、予備電離方式縦型放電励起紫外パルスレ-ザの実用化の基礎が確立された。
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