• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

リアルタイム電子ビームテスティング法とその応用に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 63550292
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 電子機器工学
研究機関大阪大学

研究代表者

藤岡 弘  大阪大学, 工学部, 助教授 (40029228)

研究期間 (年度) 1988
研究課題ステータス 完了 (1988年度)
配分額 *注記
1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1988年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワード電子ビームテスティング / リアルタイム計測 / 2次電子検出器 / 走査電子顕微鏡 / 論理LSI
研究概要

1.超広帯域2次電子信号検出システムの構成
超高速シンチレータ(過渡応答2.4ns)/光電子増倍管(過渡応答2.3ns)/広帯域前置増幅器(帯域200MHz)を2次電子検出器として持つリアルタイム2次電子検出システムを構成し、2次電子が試料表面から放出され、エネルギー分光器を経て前置増幅器から出力されるまでの全系の時間分解能10nsを実現した。
また、シンチレータを試料台に近接させることにより、他の構成要素がそのままの場合でも、時間分解能が4nsまで改善される可能性のあることを、2次電子軌道解析により示した。
2.超低デューティ比動作の観察
論理振幅0.4〜4V、繰り返し周波数100Hz〜100MHzの全領域にわたって時間分解能10nsのリアルタイム計測が可能である事を示した。従って、デューティ比(繰り返し周期に対するパルス幅の比)が10^<-6>程度の超低デューティ比動作の論理デバイスへの適用も可能である。

報告書

(1件)
  • 1988 実績報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] H.Fujioka: J.Appl.Phys.E:Sci.Instrm.22. (1989)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書

URL: 

公開日: 1988-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi