| 研究課題/領域番号 |
63550690
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
高分子合成
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
角岡 正弘 大阪府立大学, 工学部, 助教授 (50081328)
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1989年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
1988年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
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| キーワード | 光開始 / アシルオキシイミノ基 / Oーアクリロイルアセトフェノンオキシム / アミノ基 / ポジ・ネガ両用フォトレジスト / Oーメタクリロイルアセトフェノンオキシム / 主鎖切断 / 加速的光崩壊 / O-アクリロイルアセトフェノンオキシム / O-メタクリロイルアセトフェノンオキシム / 極性変化型高分子 / フォトレジスト / 機能性高分子 / 親水化 |
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| 研究概要 |
アシルオキシイミノ(AOI)基をもつ共重合体として、Oーアクリロイルアセトフェノンオキシム(AAPO)あるいはOーメタクリロイルアセトフェノンオキシム(MAAPO)とスチレン(St)あるいはメタクリル酸メチル(MMA)の共重合体を用い、固相(フィルム)光反応におけるアミノ基生成とその利用について検討した。AAPO(26.3)ーStフィルムでは、アミノ基導入の収率は69.9%であり、他に28.0%の収率で二重結合が生成した。アミノ基の収率は、共重合体中のコモノマ-、照射波長、照射時の雰囲気の影響をうけないが、AOI基の含有量を100%(ホモポリマ-)にしたとき、25%まで低下した。一方、MAAPO(28.3)ーStフィルムの窒素下での光反応ではアミノ基の収率は21.5%であったが、主鎖中の二重結合の他にビニリデンタイプの二重結合が生成し、全二重結合の収率は62.7%となった。空気下ではアミノ基の収率は変らなかったが、二重結合の収率は30.2%まで低下し、同時に著しい主鎖切断が認められた。AAPO系共重合体の光反応で効率よくアミノ基が導入できることがわかったので、アミノ基の利用について検討した。AAPO系共重合体フィルムを光照射後塩酸処理すると、光照射部の親水性が増加し、光照射部のみが酸性染料で選択的に染色できるようになった。AOI基の含有量の多い共重合体(30〜50モル%)を用いて、未照射フィルムと光照射後酸処理したフィルムの溶解性について検討した結果、光照射前後で溶解する溶媒の極性は大きく変化することがわかった。AAPO共重合体を極性変化型フォトレジストに用いたところ、ポジ型フォトレジストとして優れていることがわかった。MAAPO共重合体では、アミノ基の導入率は低いが、光崩壊反応が加速的におこることを見出した。この加速現象は光照射によってAOI基が二重結合に変化し、共重合体のガラス転移点を下げるためであることが証明された。
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