| 研究課題/領域番号 |
63606006
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 岡崎国立共同研究機構 |
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研究代表者 |
廣田 榮治 岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 教授 (30011464)
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| 研究分担者 |
上原 博通 城西大学, 理学部, 教授 (80160208)
高見 道生 理化学研究所, 主任研究員 (40087440)
笛野 高之 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (60029387)
田中 武彦 九州大学, 理学部, 教授 (00011586)
清水 忠雄 東京大学, 理学部, 教授 (90011668)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
27,700千円 (直接経費: 27,700千円)
1988年度: 27,700千円 (直接経費: 27,700千円)
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| キーワード | SiFラジカル / SiF^+イオン / 高温分子 / ファンデルワールス錯体 / アセチレン二量体 / ニトレン / 高振動励起状態 / 局在振動 / 赤外レーザー動力学的分光法 / C_3 |
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| 研究概要 |
1.SiF_4の放電中にSiFラジカルおよびSiF^+イオンの赤外振動回転スペクトルを観測することに成功した。これらの分子種はシリコンのプラズマエッチング機構解明に重要である。ひきつづきプラズマ中の活性種と固体表面の反応により生成する励起分子を検出計測するためのセルを設計製作した。一方高温分子ではNacl、PbO、GeSの赤外スペクトルを観測した。この中GeSについては小型フーリエ分光器による赤外発光スペクトルの観測が、半導体レーザー分光による詳細精密な分光測定の予備段階としてきわめて有効であることを示した。2.弱い分子間錯体ではアセチレン二量体を検出、2個のアセチレンがお互いに逆方向に回転する内部運動の存在を示した。この他(N_2O)_2、BF_3・X(X=Ne,Ar,Kr)、C_6H_6・X(X=Ar,Kr)、(NO)_2、SiF_4・Ar等についても赤外スペクトルを観測した。3.電子励起状態における分子構造について詳細な情報をえるため、パルス色素レーザー・マイクロ波二重共鳴分光器の製作を行い、マイクロ波部分をほぼ完成した。一方ニトレンNH(^3Σ^-,^1Δ)とNO,O_2の反応と理論、実験の両面から研究し、前者では理論の予測通りOHの発光を検出した。4.高振動励起状態の研究はひきつづきNH_3に焦点をしぼって行なった。新しくυ=2,4についてスペクトルを観測し、以前のデータを併せ検討したところ、υ=3〜4で基準振動から局在振動への移行が始まり、υ≧5ではほぼ完全に局在化していることを示した。5.赤外半導体レーザー動力学的分光法をCH_3I(248nm)、Cl_2SO(248nm)、C_2H_2(193nm)、C_4H_2あるいはC_3H_4(193nm)に適用した。最初の系ではCH_3の時間分解観測から、I(^2P_<1/2>)に対応するチャンネルではCH_3はυ_2とともに分布が小さくなることを示した。Cl_2SOの光解離ではCl(^2P_<1/2>)+ClSO、2Cl(^2P_<3/2>)+SOの2つのチャンネルに対応するClの信号を明確に観測した。最後の系ではC_3のV_3バンドを検出した。
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