| 研究課題/領域番号 |
63632003
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 群馬大学 |
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研究代表者 |
菅原 実 群馬大学, 工学部, 教授 (50008504)
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| 研究分担者 |
石川 稜威男 山梨大学, 工学部, 助手 (00020446)
松沢 秀典 山梨大学, 工学部, 教授 (40006234)
菅ノ又 伸治 山梨大学, 工学部, 教授 (50020425)
岡田 富男 群馬大学, 工学部, 助手 (10111395)
小林 祥男 群馬工業高等専門学校, 教授
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
9,000千円 (直接経費: 9,000千円)
1988年度: 9,000千円 (直接経費: 9,000千円)
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| キーワード | 探針法 / ダブルプルーブ法 / シランプラズマの診断 / 高周波放電 / RF放電 / 負イオン / オプトガルバノ効果 / フォトンカウンテング法 / 単探針 / 複探針 / シランプラズマの診断法 / 低周波放電 / モンテ・カルロシミュレーション / SF_6ガス放電 |
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| 研究概要 |
この研究は、最も共通性のある平行平板電極構造を持つ容量性RF放電リアクターを用い、アルゴンズスおよび反応性ガス(SiH4,SF6)中で放電の電気的、光学的な構造を、時間・空間分取しながら診断することを目的としている。今年度の成果を以下に述べる。
1)RF反応性ガス放電プラズマ中におれるダブルプローブ法
探針表面上への被膜防備策として加熱式プローブ法を開発し、SF6ガス、SiH4ガス中で成果を得た。次に、探針測定へのRF電位変動の影響を補う方法として、プルーブの回路系に、外部からRF電位を加え、シースにはRF電位変動が加わらない方式を考案した。その予備実験を行い、このアイデアをチェックした。
2)RF放電イオンシース構造とその動的振る舞い
RF放電の構造をDC放電と対比しながら、その電気的(電位分布、電荷分布)と光学的構造(負グロー、陽光注)をしらべている。今年はf=400kHz、13.56MHz、の場合で、負グロー出現のタイミングとその時間・空間的進展過程をフォトンカウンテング法により測定した。
3)SF6ガス中で放電の進展過程
高周波(f=30-500kHz)放電における発光の空間分布を測定し、両電極前面に比較的高い電界が存在する事を見出した。
4)光脱離を用いた負イオン検出法の確立
レーザーパルスの多重照射系を完成し、光脱離による負イオンの検出に成功した。これを用い、SF6ガス、f=30kHzの場合で計測し、放電電流が急上昇する直前に、アース電極から5mm離れた位置での負イオン密度として10/ccの値を得た。
5)マルチカスププラズマ源としたプラズマの測定で、RFセルフバイアスが出現する事を観測した。
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