| 研究課題/領域番号 |
63632007
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
板谷 良平 京都大学, 工学部, 教授 (90025833)
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| 研究分担者 |
広瀬 全孝 広島大学, 工学部, 教授 (10034406)
田頭 博昭 北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)
旗野 嘉彦 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121)
後藤 俊夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023255)
菅野 卓雄 東京大学, 工学部, 教授 (50010707)
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| 研究期間 (年度) |
1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
1988年度: 4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
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| キーワード | プラズマプロセシング / 反応性プラズマ / プラズマの制御 |
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| 研究概要 |
本課題は、昭和63年度からスタートした、重点領域研究「反応性プラズマの制御」の総括班として、当領域の研究の方向付けと進展を図るものである。そこで、本年度は初年度として、昭和63年5月初旬に計画研究班の会議を持ち、当初計画の見直しと本年度の実行計画の確認とを行なった。次いで、6月初旬に公募研究班の会議をもち、本領域研究の意図するところを説明し、各公募研究課題について討論し、研究の方向付けを行なった。
9月下旬には、次年度の研究費申請を前にして計画研究班の研究進行状況の検討会を開き、それに引き続いて総括班会議を持ち、次年度の研究費申請の基本方針を決定した。この時の研究の進行状況はほぼ予定通りであり、又、計画研究の各班の間の連携もまずは順調であった。
特に組織化を必要とするプラズマ内反応素過程、マイクロ波プラズマ生成、ならびに反応性プラズマ内のプローブ測定については、それぞれ12月から1月にかけて、小人数の研究会を持ち、研究の方向、課題の吟味、分担の確認を行なった。又、研究成果が上がりつつある、反応性プラズマのレーザー分光計測、並びにプラズマのモデリングについては、3月中旬に研究会を持ち、成果の検討を行なった。
平成元年1月下旬には、今年度の研究成果報告会を第6回プロセシングプラズマ研究会と合同で開いた。まず、各研究代表者がそれぞれの研究の目的と成果について口頭で報告し、次いで、ポスターセッションにて、各研究分担課題毎に詳細な報告を行なった。この報告会には、産業界からも100名を超える参加者があった。これらの成果は第6回プロセシングプラズマ研究会論文集に収録された。この報告会の原稿にその後の成果等を加えて本年度の研究成果報告書とした。また、領域全体の活動状況のPRのため、ニュースレターを2回発行した。
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