| 研究課題/領域番号 |
63632519
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
小川 禎一郎 九州大学, 総合理工学研究科分子工学専攻, 教授 (50028156)
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| 研究分担者 |
中島 慶治 九州大学, 総合理工学研究科分子工学専攻, 助手 (50188934)
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| 研究期間 (年度) |
1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1988年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | 電子衝撃 / 断面積 / ドプラー線形 / 励起水素原子 / 並進運動エネルギー分布 / プラズマ |
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| 研究概要 |
プラズマ過程で重要な水・シランを試料に、電子による励起解難過程の解析を行い、励起水素原子の生成断面積を求めた。
1.装置の改良……助成金により隔膜型圧力計を購入し電子-分子衝突室に取りつけ、測定中の試料圧をモニターし、断面積が正確に測定できるようにした。助成金によりメモリーボードを購入し、現有のコンピュータに組み込み、データ解析能力を向上させた。
2.断面積測定法……電子-分子衝突による発光断面積を測定する手法について吟味し、次の諸点の吟味が必要なことを示した。 【○!1】分光測定及び圧力測定の絶対較正 【○!2】カスケード効果の補正 【○!3】測定領域からの逃げの補正 【○!4】スペクトル線の純度。これらの諸点の内でも第3点と第4点については従来ほとんど考慮されていない。
3.水の測定と解析……水の電子衝撃で生成した励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形を、従来よりも高い精度で再測定し解析した。水の4つの主要な励起水素原子生成過程につき角度差ドプラー線形を求めて励起過程の対称性を決めるとともに、並進運動エネルギー分布により解離過程を分類しそれらの生成断面積を求め、プラズマ過程のシミュレーションに必要なデータをえた。
4.シランの測定と解析……シランの電子衝撃により生成する励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形をファブリペロ干渉計により高分解能で測定した。4つの主要な励起水素原子生成過程があった。それらのしきい値と並進運動エネルギー分布はそれぞれ、(1)19-21eV、0-2eV、(2)23-25eV、0-2eV、(3)35-40eV、2-5eV、(4)50-60eV、6-10eVであった。これらの励起水素原子の並進運動エネルギー分布別の発光断面積を求めた。
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