| 研究課題/領域番号 |
63850017
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| 研究分担者 |
境 悠治 日本電子, 技術本部・開発課, 課長
河藤 栄三 大阪大学, 工学部, 助手 (60195112)
上田 一之 大阪大学, 工学部, 助教授 (60029212)
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
12,500千円 (直接経費: 12,500千円)
1989年度: 4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
1988年度: 8,500千円 (直接経費: 8,500千円)
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| キーワード | オ-ジエ分光法 / 反射回折 / マイクロアナリシス / オ-ジエ電子顕微鏡 / 電子分光 / 阻止型CMA / 高分解能オージェ分析 / 局所表面分析 |
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| 研究概要 |
昨年度試作した同心球型阻止電位メッシュ2枚電極をもつ円筒鏡型エネルギ-アナライザ-(CMA)は、その後の詳細な実験を行った結果、夫々のメッシュ電極が数100ミクロン偏心してとりつけられていることが判明した。これを解決するために新らたにこれら電極を保持しているマコ-ルホルダ-の精密加工を行った。更に帯荷を防ぐために、松下電産(株)が開発した半導体塗料の焼付塗付を行い、このセラミクスホルダ-を用いて、再度CMAへの取り付けを行い実験を再開した。
実験は現在もなお続行中であるが、現時点で明らかになっていることを以下に箇條通に示す。
(1)2枚の円心球型メッシュ電極は数10ミクロンの精度で同心状にとりけることが出来た。これは分解能テストを行って、信号電子のエネルギ-(弾性散乱ピ-ク)が大きくなるにつれてピ-ク形状が崩れるという現象が無くなったことから裏付けされる。
(2)阻止電圧を高くしてもS/Nが急激に劣化するということが見られなくなり、理論通りの特性が定性的に確認された。
しかし、定量的な特性評価を行うには、検出器の入射電子のエネルギ-への依存性について正確な知見が必要である。このため現在、検出器をファラテ-カップとして使用する方式に変更して実験を続行中であるが、電流導入端子の絶縁劣化のため暗電流が効いて来て正確な測定が出来ていない。現在、この部分のオ-バホ-ルを行っており、順調にいけば、絶対電流測定が可能になる予定である。これらの結果をもとに本来の目的である、高分解能オ-ジエ分析を試み、とくに反射回折の情報の取り込みについての一連の実験を行って最終結論を出す予定である。
とくに同心型阻止電極ホルダ-の製作にあたってきわめて有用なノウハウを得ることが出来たので報告書で詳しく述べる予定である。
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