| 研究課題/領域番号 |
63850078
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子機器工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
日比野 倫夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (40023139)
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| 研究分担者 |
花井 孝明 名古屋大学, 工学部, 講師 (00156366)
杉山 せつ子 名古屋大学, 工学部, 助手 (00115586)
下山 宏 名古屋大学, 工学部, 助教授 (30023261)
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
8,600千円 (直接経費: 8,600千円)
1989年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1988年度: 6,800千円 (直接経費: 6,800千円)
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| キーワード | 走査透過電子顕微鏡 / 弾性散乱電子 / 非弾性散乱電子 / ディジタル処理システム / 電子信号間演算 / 特殊コントラスト / ノイズ除去 / デコンボリュ-ション処理 / 弾性散乱 / 非弾性散乱 / 量子検出効率 / SN比 |
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| 研究概要 |
1.電子検出法の改善
STEM(走査透過電子顕微鏡)における電子検出器として従来使われているP46粉末蛍光体について、100kVの加速圧電圧において最高感度を与える厚さを調べた結果、0.07mm厚さの蛍光体が最適であり、高いDQEが得られることを示した。また、1mm厚さのYAG単結晶を使用すれば、約4倍の感度が得られ、感度の均一性もすぐれていることを明らかにした。非弾性散乱および非散乱電子の検出については、信号電子偏向用マグネットおよび絞り板の設置により、X線および漂遊電子線を除いた高精度検出ができることを示した。
2.像信号のディジタル処理システム
3種類までの電子信号をディジタル的に高精度で取り込み、処理のできるシステムを開発した。サンプリングによる高周波の折り返しの誤差に特に注意を払い、バタ-ワ-ス型アンチェイリアシングフィルタの使用によって、ディジタル化の誤差を0.2%以下に抑えることができた。
3.ディジタル演算処理
ロ-パスフィルタと併用したデコンボリュ-ションにより、擬似像の影響のない解像度向上のための、ロ-パスフィルタ-の窓の形状を明らかにし、適切な条件のもとでは約40%の解像度の改善ができることを明らかにした。また、入射電子による信号電子の規格化による像SN比の改善の定量的評価を行った結果、理論から期待されるSN比の改善ができることが明らかとなった。さらに、弾性散乱および非弾性散乱電子を用いた演算処理を行い、比の演算像においては局所厚さに依存しない原子番号に比例したコントラストの像が得られ、減算像においては特定原子番号の元素の構造のコントラストを消去、あるいは強調できることを実証した。
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