| 研究課題/領域番号 |
63850084
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
計測・制御工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
江刺 正喜 (江刺 正善) 東北大学, 工学部, 助教授 (20108468)
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| 研究分担者 |
小沢 秀夫 日本光電工業(株)開発部, 研究員
仁田 新一 東北大学, 抗酸菌研究所, 助教授 (90101138)
庄子 習一 東北大学, 工学部, 助手 (00171017)
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
8,400千円 (直接経費: 8,400千円)
1989年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1988年度: 7,200千円 (直接経費: 7,200千円)
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| キーワード | 圧力センサ / 生体計測 / マイクロマシ-ニング / 半導体センサ / 集積化センサ / マイクロマシーニング |
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| 研究概要 |
本研究は、長期間体内に埋め込み、特定の部位の圧力を計測できるシステムを開発することを目的として研究を進めた。特に、埋め込み形圧力センサの試作研究を総合的、重点的に進め、その設計指針を明かにしその実用化に必要な実装技術などの基礎技術を確立した。
1.センサの電極とりだし部のフィ-ドスル-を検討し、体内埋め込みに適した新しいフィ-ドスル-構造を開発した。この構造は、絶対圧形の圧力センサの実現には不可欠なもので、センサの実装を容易にし、特性の安定化にも寄与する。この製作に必要な歪のない陽極接合、電解放電加工などマイクロマシ-ニング要素技術を確立した。
2.このフィ-ドスル-構造を持つピエゾ抵抗型圧力センサを試作した。このセンサは従来のものに比べ、安定でドリフトが少ない。リ-ド線の取り出し部分が受圧面と反対側にあるため、実装が容易である。
3.安定性などの点でピエゾ型よりも優れた特性を持ち体内埋め込みに適した容量型圧力センサを開発した。まず、カテ-テル先端に装着して使用することを目的とし、センサ部となる容量ダイヤフラムと信号処理集積回路を近接して配置したハイブリッド型容量型圧力センサを製作した。
4.ピエゾ型と同様な新しいフィ-ドスル-構造を持ち、同一シリコン基板上にセンサ部と信号処理回路部を一体化した集積化容量型圧力センサを製作した。集積化容量型センサは、小形、高感度、低温度ドリフト、低消費電力、などの特徴を持つ。また、圧力変化を発振周波数の変化として出力するため、テレメトリ-システムとの整合にも優れている。さらに、2線式の検出方法は、テレメトリ-システムをより単純なものとする。
ピエゾ型を用いて、体内埋込の実装技術の研究を継続中である。
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