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プラズマCVDによる炭酸ガスレ-ザ用レンズ薄膜の製作と性能評価に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 63890015
研究種目

試験研究

配分区分補助金
研究分野 広領域
研究機関高松工業高等専門学校

研究代表者

中村 茂昭  高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (00044024)

研究分担者 草薙 一正  トーヨーオプトデバイス(株), 開発室長
平野 俊雄  高松工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (60044038)
山本 斌曠 (山本 斌〓)  高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (70044021)
吹田 義一  高松工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 (20044050)
吉岡 捷爾  高松工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (20110132)
須崎 嘉文  高松高専, 機械工学科, 講師 (60206456)
研究期間 (年度) 1988 – 1990
研究課題ステータス 完了 (1991年度)
配分額 *注記
6,100千円 (直接経費: 6,100千円)
1990年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1989年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1988年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワード炭酸ガスレ-ザ用レンズ / 塩化カリウム単結晶 / 硫化ヒ素膜 / フッ化リチウム膜 / フッ化鉛膜 / 木材加工 / 硫化ヒ素薄膜 / 炭酸ガスレ-ザ用窓 / 塩化ナトリウム / フッ化鉛 / 硫化砒素 / 炭酸ガスレ-ザ用鏡 / 窒化チタン / 赤外用薄膜 / プラズマCVD / ゲルマニウム / カルコゲン化物 / 炭酸ガスレーザ
研究概要

1.KClとNaCl単結晶作製 自動単結晶引上げ装置TKーP1を本研究で製作し、KCl単結晶80φ×70mmを作製した。温度コントロ-ラ-のプログラムは次の通りである。NaCl単結晶も製作した。
Step No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
温度℃ 40 840 840 840 804 783 777 777 500 500
時間hr 12 3.0 2.0 0.1 1.3 1.5 4 0.1 1.0 24
2.KCl及びNaCl単結晶レンズ製作 手動によってKCl単結晶を砂掛け皿、ピッチ皿等で研磨(研磨剤:水、流動パラフイン、アルコ-ル、カ-ボランダム#500、800、1200、及びアルミナ0.05μ)し、曲率半径44と55mmのKClレンズ(焦点距離53と60mm、直径60と70mm、厚さ28と32mm)を製作した。同様な方法でNaClレンズも作製した。
3、薄膜コ-ディング 薄膜製作法は膜厚や組成制御の点でプラズマCVDよりもPVDが良好であることが分かった。NaClやKClレンズに透過性、耐潮解性、耐破壊性を持たせるために、次のような膜を単結晶レンズ表面に付着させ、その赤外線10.6μでの透過率を測定した。
理論値(%) 測定値(%)
NaCl//As_2S_3(4.72μ)/PbF_2(1.54μ) 91.7 91.6
KCl//LiF (2.41μ) 99.0 94.0
4.上述のKClレンズをCO_2レ-ザ装置(17.5W、アシストガスN_22kg/cm^2、テ-ブル速度300mm/s)に設定し木材メラピ-や塩ビ板等に高速で0.8〜1.0mmの穴を開けることができ、セレン化亜鉛レンズに代る実用性を持つことが分かった。

報告書

(4件)
  • 1991 研究成果報告書概要
  • 1990 実績報告書
  • 1989 実績報告書
  • 1988 実績報告書
  • 研究成果

    (45件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (45件)

  • [文献書誌] SHigeaki Nakamura: "Plasma-assisted deposition Of ARESENIC Sulfide Film By Coevaporation Of ARESENIC AND Hydrogen Sulfide" CHemistry Express. 3. 451-454 (1988)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 吉岡 捷爾: "プラズマCVDによるGeーSe薄膜の形成" 講演論文集電気関係学会四国支部連合大会. 21. 255-256 (1988)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 須崎 嘉文: "赤外線反射防止膜の設計と制作" 材料科学と高機能化技術ハイテクシンポジウム'88タカマツ,. 2. 29-38 (1988)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 吹田 義一: "蒸着薄膜および電着メッキ層の残留応力解析" 溶接学会論文集. 7. 543-548 (1989)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "CVDによる窒化チタン薄膜の製作に関する研究" 創 KAGAWAーTECHNO. 13. 22-36 (1990)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Mechanical And Optical Properties Of Tin CVD-Film On Ceramic" Chemistry Express. 5. 309-312 (1990)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 吉岡 捷爾: "高真空蒸着によるGe_<1ーx>Se_X薄膜の形成と電気的光学的特性" 高松工業高等専門学校研究紀要. 25. 65-70 (1990)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 須崎 嘉文: "アモルファスSiC薄膜の作製とその構造評価" 高松工業高等専門学校研究紀要. 25. 5-12 (1990)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 須崎 嘉文: "薄膜の引掻き試験と付着強度試験" 溶接学会溶接構造研究委員会第94回委員会. 7. 1-5 (1989)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshikazu Suita: "Analvsis Of Residual Stresscs In Evaporated And Plating Films" Transaction Of The Japan Weldeing Society. 22. 16-22 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparetion And Properties Of Ge_<1-X>Se_XFilms" The Colloquium At Material Science And Engineering Department Of Stanford University. 24. (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "炭酸ガスレ-ザ切断" 平成2年度産学官交流会香川県テクノポリス推進協議会. (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "複合材料の境界面について" 複合材料の再利用システム技術第4回研究会通産省四国工業技術試験所. (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Processes Of Metastable Mercury Atom(6^3 P_2)in The Afterglow" Progress Report,Atomic Coliision Research In Japan. 16. 92-93 (1990)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Plasma-assisted Deposition of Arsenic Sulfide Film by Coevaporation of Arsenic and Hydrogen Sulfide" Chemistry Express. 3. 451-454 (1988)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparation of Ge-Se Thin Film by Plasma-assisted CVD" The REport of Shikoku Electrical Society. 21. 255-256 (1988)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Design and Fabrication of Antireflection Coatings for Infra-red" High Technological Symposium 88 Takamatsu. 2. 29-38 (1988)

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    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshikazu Suita: "Residual Stresses of Thin Films" The Report of japanese Welding Society. 7. 543-548 (1988)

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    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Fabrication of TiN Film by CVD" KAGAWA-TECHNO. 13. 22-36 (1990)

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    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Mechanical and Optical Properties of Thin CVD-Film on Ceramics" Chemistry Express. 5. 309-312 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Electrical and Optical Properties of Ge1-xSex Thin Films prepared by Vacuum Evaporation" Annual Reports of Takamatsu National College of Technology. 25. 65-70 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Preparation and Structure Properties of Amorphous SiC Thin Film, Annual Reports of Takamatsu National College of Technology" 25. 5-12 (1990)

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    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Scratch Test and Adhesive Strength of Thin Film" The 94th Conference on Japanese Welding Society. 7. 1-5 (1989)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Analysis of Residual Stresses in Evaporated and Planting Films" Transaction of The Japanese Welding Society. 22. 16-22 (1991)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparation and Properties of Ge1-xSex Films" The Colloquium at Material Science and Engineering Department of Stanford University. 24. (1991)

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    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "CO2 Raser Cutting" The Report of Conference between Industrial Academic Society at Kagawa. (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Interfaces in Composite Materials" The 4th Conference of Material Recycle System at Government Industrial Research Institute, Shikoku. (1991)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Process of Metastable Mercury Atom (6^3 P_2) in The Afterglow" Progress Report, Atomic Collision Research in Japan. 16. 92-93 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura,et al.: "Mechanical and Optical Properties of TiN CVDーFilm on Ceramic." Chemistry Express. Vol.5. 309-312 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshikazu Suita,et al.: "Analysis of Residual Stresses in Evaporated and Plating Films." Transaction of The Japan Welding Society. Vol.22. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparation and Properties of Ge_<1ーx>Se_x Films" The Colloquium at Material Science and Engineering Department of Stanford University. Jan.24. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "炭酸ガスレ-ザ切断" 平成2年度産学官交流会 香川県テクノポリス推進協議会・香川県産業立地課. Feb.20. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "複合材料の境界面について" 複合材料の再利用用システム技術 第4回研究会 通産省四国工業技術試験所. Dec.21. (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Processes of Metastable Mercury Atoms (6^3P_2) in the Afterglow" Progress Report,Atomic Collision Research in Japan. No.16. 92-93 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 溶接学会編 吹田 義一 分担執筆: "溶接・接合便覧" 丸善(株), 1496 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 中村茂昭: "CVDによる窒化チタン薄膜の製作に関する研究" 創 KAGAWAーTECHNO. 13. 22-36 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 中村茂昭: "MECHANICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF TiN CVDーFILM ON CERAMIC" Chemistry Express. 5(5). (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 吉岡捷爾: "高真空蒸着によるGe_<1-x>Se_x薄膜の形成と電気的光学的特性" 高松工業高等専門学校研究紀要. 25. 65-70 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 須崎嘉文: "アモルファスSiC薄膜の作製とその構造評価" 高松工業高等専門学校研究紀要. 25. 5-12 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 豊田政男 吹田義一 平野俊雄 中村茂昭 山本斌曠: "蒸着薄膜および電着メッキ層の残留応力解析" 溶接学会論文集. 7(4). 543-548 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 須崎嘉文 吹田義一 草薙一正: "薄膜の引掻き試験と付着強度試験" 溶接学会溶接構造研究委員会第94回委員会. 7/3〜4. 1-5 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: Chemistry Express. 3. 451-454 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 吉岡捷爾: 講演論文集電気関係学会四国支部連合大会. 21. 255-256 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 須崎嘉文: 材料科学と高機能化技術ハイテクシンポジウム'88タカマツ. 2. 29-38 (1988)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書
  • [文献書誌] 吹田義一: 溶接学会論文集. 7(4). (1989)

    • 関連する報告書
      1988 実績報告書

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公開日: 1988-04-01   更新日: 2019-02-15  

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