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自己組織化システムを用いる高性能サイズ制御スポットテスト法
研究課題
サマリー
1998年度
基礎情報
研究課題/領域番号
97J06075
研究種目
特別研究員奨励費
配分区分
補助金
応募区分
国内
研究分野
工業分析化学
研究機関
東北大学
研究代表者
石田 晃彦
研究期間 (年度)
1998
研究課題ステータス
完了 (1998年度)
配分額
*注記
900千円 (直接経費: 900千円)
1998年度: 900千円 (直接経費: 900千円)