電子ビーム蒸着によるAl_2O_3薄膜の製作と化合物半導体界面の電子的性質の研究

• 研究課題/領域番号: X00040----220324
• 研究種目: 特定研究
• 配分区分: 補助金
• 研究機関: 岡山大学
• 研究代表者: 岡崎 進 岡山大, 理, 教授
• 研究期間 (年度): 1977
• 研究課題ステータス: 完了 (1977年度)
• 配分額: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円); 1977年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)