クラスタイオンビーム蒸着技術による光導波路・光回路の形成

• 研究課題/領域番号: X00040----420527
• 研究種目: 特定研究
• 配分区分: 補助金
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 高木 俊宜 京都大学, 工学部, 教授
• 研究期間 (年度): 1979
• 研究課題ステータス: 完了 (1979年度)
• 配分額: 5,700千円 (直接経費: 5,700千円); 1979年度: 5,700千円 (直接経費: 5,700千円)