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低コストナノギャップ電極作製手法と単一分子ガスセンサの開発

公募研究

研究領域分子アーキテクトニクス:単一分子の組織化と新機能創成
研究課題/領域番号 16H00974
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

内藤 泰久  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (10373408)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2017年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2016年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
キーワードナノギャップ / 分子エレクトロニクス / ナノ材料 / マイクロ・ナノデバイス
研究実績の概要

本研究は独自のナノギャップ電極作製手法について、その低コスト化と作製した電極活用法の一つとして分子センサーの実現を目指す。低コスト化については、平成28年度にある程度達成している。平成29年度は、独自の作製手法で作製したナノギャップ電極についてギャップサイズの検証を行った。作製後の電流-電圧カーブからフィッティングにより算出されるギャップ幅は約1nmであるが、ギャップ幅が小さすぎて電子顕微鏡などで直接構造を観察することは難しかった。そこで分子長0.9nmの分子を作製ナノギャップ間に展開し、電流-電圧カーブを測定することで評価した。その結果、作製時の条件によって電極間に分子の架橋非架橋を制御できた。すなわちギャップ幅が分子長以下、以上であることを示しており、約1nmのギャップ幅を有していることが明らかとなった。
また特記すべき点として、分子が片方の電極にのみ吸着した状態でも、吸着前後でトンネル抵抗として変化を検出している点である。この点は、ナノギャップ長が約1nmで常にトンネル電流が流れるほど電極間隔が漸近していることを示しており、分子の状態密度に依存したトンネル電流を計測できていることを示している。この点を利用し、ギャップ間に用意した分子の状態密度の変化を利用した分子センサーのデモンストレーションを行った。この計でセンシング感度を評価すると、集合体としてセンサー分子を構成していたものと比べ約100倍の感度向上が明らかとなった。
今後は、前述の分子センサーなど分子の特徴を活かしたデバイス研究に本技術を役立てたい。

現在までの達成度 (段落)

29年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

29年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2018 2017

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Fabrication of sub-1?nm gap electrodes using metal-mask patterning and conductivity measurements of molecules in nanoscale spaces2017

    • 著者名/発表者名
      Naitoh Yasuhisa、Albrecht Ken、Wei Qingshuo、Yamamoto Kimihisa、Shima Hisashi、Ishida Takao
    • 雑誌名

      RSC Advances

      巻: 7 号: 84 ページ: 53503-53508

    • DOI

      10.1039/c7ra10873g

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Conjugated electrical properties of Au nanoparticle?polyaniline network2017

    • 著者名/発表者名
      Usami Yuki、Otsuka Yoichi、Naitoh Yasuhisa、Matsumoto Takuya
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 12 ページ: 128001-128001

    • DOI

      10.7567/jjap.56.128001

    • NAID

      210000148473

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] sub 1 nmナノギャップ電極を用いたベンゼンジチオールの電気特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      内藤泰久、中村徹、アルブレヒト健、衛慶碩、山元公寿、島久、石田敬雄
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 金微粒子―ポリアニリンネットワークの非線形電気特性2018

    • 著者名/発表者名
      宇佐美 雄生、大塚 洋一、内藤 泰久、松本 卓也
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 二次元 分子/微粒子ネットワークの微粒子間距離制御2017

    • 著者名/発表者名
      斉藤 明弘、宇佐美 雄生、大塚 洋一、内藤 泰久、松本 卓也
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 二次元AuNPネットワークの微粒子間距離制御に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      斉藤 明弘、宇佐美 雄生、大塚 洋一、内藤 泰久、松本 卓也
    • 学会等名
      第8回分子アーキテクトニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 金微粒子ーポリアニリンネットワークの非線形電気特性2017

    • 著者名/発表者名
      宇佐美 雄生、大塚 洋一、内藤 泰久、松本 卓也
    • 学会等名
      第8回分子アーキテクトニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Research & Development toward Organic Gas Molecule Sensing2017

    • 著者名/発表者名
      中村徹、内藤泰久
    • 学会等名
      9th International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 金属ナノギャップ構造における、電圧印加によるギャップ長制御2017

    • 著者名/発表者名
      内藤泰久
    • 学会等名
      2017年第2回極限ナノ造形・構造物性研究会 講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演

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公開日: 2016-04-26   更新日: 2018-12-17  

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