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GaN系LEDの転位に起因するVピットの形状操作と転位無効化メカニズムの解明

公募研究

研究領域特異構造の結晶科学:完全性と不完全性の協奏で拓く新機能エレクトロニクス
研究課題/領域番号 19H04549
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関山口大学

研究代表者

岡田 成仁  山口大学, 大学院創成科学研究科, 准教授 (70510684)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2020年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2019年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードVピット / 超格子 / InGaN / 発光ダイオード / 点欠陥 / 窒化物半導体 / LED / GaN / 転位
研究開始時の研究の概要

本研究課題ではGaN上InGaN-LED(特に青色波長帯)は転位(特異構造)起因のVピット形状を制御すること、および発光層直下の超格子(SL)構造の恩恵による高効率化メカニズムについて検討する。特に特徴的な手法として、Vピット形状を超格子の構造的要因を用いない中温GaN成長法を用いる。LED発光デバイスの新展開を迎えるべく、『GaN系LEDの転位起因Vピット形状の操作と超格子構造の要素技術の個別解明』を達成し、この解明により『様々な波長帯でLEDのVピット操作による高効率化』を目指す。

研究実績の概要

GaN系LEDにおいて特筆すべき点は転位密度が高いにもかかわらずLEDの効率が非常に高いことにである。LED中の転位は発光層直下のInGaN/GaN超格子に起因したVピット形状の構造を活性層内に創成し、LEDの高効率化のメカニズムの要因となっている。しかしながら、高効率化 にはVピットを形成するとき超格子構造が必要であり、超格子はその構造がもたらす複合的な有利効果があり、それぞれの効果を個別には評価し切れていないのが現状である。本研究では、それぞれの要素がどう高効率化に作用するかを個別に分類できるように研究を遂行してきた。その結果、VピットとInGaN層が果たすを役割を、個別に評価することに成功し、最終的にVピット拡大層がPL発光強度に与える影響の理論式を導出することができた。
1つ目に、MQW直下にSLを挿入した場合、SLの膜厚と発光強度の関係となる式を導出した。この式は拡散係数αにより発光強度が増加する傾向が大きく変化し、これは拡散長に大きく依存する。したがって、SLが発光強度を回復する効果は拡散係数αにより表現することが可能となった。
2つ目に、最大の発光強度で飽和させる効果のあるSL上に点欠陥混入効果のあるMT-GaNを成長したサンプルのVピット拡大層の膜厚と発光強度の関係となる式を導出した。この式は係数βにより発光強度が減少する傾向が大きく変化し、これはMT-GaNが点欠陥を混入してMQWに悪影響を与える効果に大きく依存する。したがって、MT-GaNの様に点欠陥を混入し発光強度を低下させる層がMQW直下に挿入された場合、発光強度を低下させる効果を係数βにより表現することが可能となった。
以上のように本研究によりVピットとInGaN層の役割を個別に評価することと及びその理論式の導出に成功し、今後のLEDにおけるさらなる効率化につなげていく重要な指標を獲得できた。

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2020 2019 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (14件) (うち招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] レンセラー工科大学(米国)

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [国際共同研究] Rensselaer Polytechnic Institute(米国)

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of InGaN/GaN superlattice as underlayer on characteristics of AlGaN/GaN HEMT2020

    • 著者名/発表者名
      Itakura Hideyuki、Nomura Toshihumi、Arita Naoki、Okada Narihito、Wetzel Christian M.、Chow T. Paul、Tadatomo Kazuyuki
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 10 号: 2 ページ: 025133-025133

    • DOI

      10.1063/1.5139591

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書 2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] InGaN下地層がInGaN/GaN量子井戸の発光強度に与える影響2020

    • 著者名/発表者名
      河村 澪、岩崎 直矢、猪股 祐貴、岡田 成仁、倉井 聡、山田 陽一、只友 一行
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書 2019 実績報告書
  • [学会発表] 長波長発光デバイス化に向けファセット成長したInGaN下地層の評価2020

    • 著者名/発表者名
      原田裕也, 俵迫湧也, 河村澪, 西直矢, 岡田成仁,只友一行
    • 学会等名
      2020年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] InGaN 下地層 及び InGaN/GaN SLがGaN系長波長LEDに与える影響2020

    • 著者名/発表者名
      俵迫湧也, 河村澪, 西直矢, 原田裕也, 岡田成仁, 倉井聡, 山田陽一, 只友一行
    • 学会等名
      2020年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] InGaN/GaN超格子によるAlGaN/GaN高電子移動度トランジスタの性能向上2020

    • 著者名/発表者名
      松田駿佑, 田村元希, 野村俊文, 岡田成仁, 只友一行
    • 学会等名
      2020年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 中温成長GaN ピット形成層上のInGaN 単一量子井戸構造におけるポテンシャル障壁評価2020

    • 著者名/発表者名
      倉井 聡、高 俊吉、槇尾 凌我、林 直矢、湯浅 翔太、岡田 成仁、只友 一行、山田 陽一
    • 学会等名
      2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] ファセット成長による高組成InGaN下地層の検討2020

    • 著者名/発表者名
      西 直矢、河村 澪、川村 洋史、原田 裕也、俵迫 勇也、岡田 成仁、只友 一行
    • 学会等名
      2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 完全緩和した{11-22}InGaN下地層上の多重量子井戸の発光特性2020

    • 著者名/発表者名
      俵迫 湧也、河村 澪、西 直矢、原田 裕也、ヌルファラ ナジハ マザラン、岡田 成仁、倉井 聡、山田 陽一、只友 一行
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 緩和した厚膜InGaN上の長波長MQWの作製と評価2020

    • 著者名/発表者名
      岩崎 直矢、猪股 祐貴、河村 澪、岡田 成仁、倉井 聡、山田 陽一、只友 一行
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] GaN系LEDの転位に起因するVピットの形状操作と転位無効化メカニズムの解明2019

    • 著者名/発表者名
      岡田成仁
    • 学会等名
      新学術領域研究・特異構造 第4回領域全体会議
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 中温成長GaNを用いたVピット形成とInGaN MQWの光学評価2019

    • 著者名/発表者名
      岩崎直矢, 河村澪, 猪股祐貴, 藤井智也, 岡田成仁, 只友一行
    • 学会等名
      2019年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] InGaN underlying layerがAlGaN/GaN HEMTのデバイス特性に与える影響2019

    • 著者名/発表者名
      野村 俊文、板倉 秀之、田村 元希、岡田 成仁、只友 一行
    • 学会等名
      2019年 第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 緩和した厚膜InGaN上のLEDの検討2019

    • 著者名/発表者名
      猪股 祐貴、河村 澪、藤井 智也、岩崎 直矢、岡田 成仁、只友 一行
    • 学会等名
      2019年 第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Vピット形成層がInGaN/GaN MQWに与える影響2019

    • 著者名/発表者名
      河村 澪、猪股 祐貴、岩崎 直矢、藤井 智也、岡田 成仁、倉井 聡、山田 洋一、只友 一行
    • 学会等名
      2019年 第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] InGaN/GaN超格子による GaN 系発光・電子デバイスの性能向上2019

    • 著者名/発表者名
      岡田成仁,板倉秀之,猪股祐貴,河村澪,野村俊文,岩崎直矢,田村元希,只友一行
    • 学会等名
      第48回結晶成長国内会議(JCCG-48)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [備考] 只友・岡田研究室ホームページ

    • URL

      http://device.eee.yamaguchi-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2021-12-27  

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