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窒化物半導体光増幅器を用いた小型・高効率な青色単一波長高出力光源の開発

公募研究

研究領域地下から解き明かす宇宙の歴史と物質の進化
研究課題/領域番号 22H04573
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関大阪大学

研究代表者

上向井 正裕  大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (80362672)

研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
2023年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2022年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワード窒化物半導体 / 半導体レーザ / 半導体光増幅器 / 単一波長レーザ / 高出力レーザ / 半導体レーザー / 単一波長レーザー / 高出力レーザー
研究開始時の研究の概要

「物質優勢宇宙の謎」を解くためには、48Caの二重ベータ崩壊の観測が有望とされている。このCa同位体の自然存在比は非常に低いため、波長422.7 nmの青色単一波長高出力レーザーを用いてレーザー濃縮を行う必要がある。
市販の製品やその組み合わせでは要求仕様を満たす光源は実現できないため、本研究では単一波長レーザーとテーパ型光増幅器をモノリシック集積した小型・高効率なInGaN単一波長高出力光源を開発することを目的とする。

研究実績の概要

InGaN量子井戸エピタキシャル構造を用いた青色単一波長半導体レーザについては、リッジ構造に周期的に溝を形成した周期スロットレーザと、リッジ構造の両側にDFBグレーティングを形成したLaterally Coupled DFBレーザを作製した。前者は活性領域に電流注入しながら周期スロット領域への注入電流を変化させることで、0.55 nmの波長可変範囲にわたってサイドモード抑圧比26 dB以上の単一モード発振が得られ、青色領域で初めて波長可変単一モードレーザの実現に成功した。後者からは出力光パワー300 mW以上の単一モード発振が得られ、波長可変特性はないものの目標波長の近く(波長差1 nm以下)で発振するレーザが作製できることがわかった。
またテーパ型半導体光増幅器については、大電流の注入が可能なp側電極の作製プロセスを確立し、電極長および出射端幅の異なる種々の電極形状のデバイスを作製した。3 Aまでの電流注入が可能になったものの、位置合わせ精度不足でレーザ光をデバイス導波路に効率よく結合させることができず、良好な光増幅特性は得られなかった。高精度の位置合わせが可能なピエゾステージを用いることで、問題を解決する。

現在までの達成度 (段落)

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2024 2023 その他

すべて 学会発表 (3件) 備考 (2件)

  • [学会発表] InGaN周期スロットレーザーのCW波長可変単一モード動作実証2024

    • 著者名/発表者名
      楠井 大晴,和田 拓巳,上向井 正裕,谷川 智之,片山 竜二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第44回年次大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of InGaN Tunable Single-Mode Laser Using Periodically Slotted Structure2023

    • 著者名/発表者名
      Taisei Kusui, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, and Ryuji Katayama
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] InGaN Tapered Semiconductor Optical Amplifier for Laser Isotope Separation2023

    • 著者名/発表者名
      Takumi Wada, Taisei Kusui, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, and Ryuji Katayama
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [備考] 片山竜二 研究室

    • URL

      http://www.qoe.eei.eng.osaka-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [備考] 研究室ホームページ

    • URL

      http://www.qoe.eei.eng.osaka-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書

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公開日: 2022-04-19   更新日: 2024-12-25  

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