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大気・熱安定性に優れる14族2.5次元物質の創製と熱電応用への展開

公募研究

研究領域2.5次元物質科学:社会変革に向けた物質科学のパラダイムシフト
研究課題/領域番号 22H05456
研究種目

学術変革領域研究(A)

配分区分補助金
審査区分 学術変革領域研究区分(Ⅱ)
研究機関名古屋大学

研究代表者

黒澤 昌志  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (40715439)

研究期間 (年度) 2022-06-16 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2023年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2022年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワードゲルマニウム / シリコン / ナノシート / 大気安定性 / 熱安定性 / 熱電応用 / 二次元物質
研究開始時の研究の概要

14族2.5次元物質(グラフェンの炭素原子をシリコン、ゲルマニウム、スズに置換した二次元物質:シリセン、ゲルマネン、スタネン)は、超高真空中で導電性基板上でのみ、その合成に成功しており、理論的に予測されている卓越した物性を応用するには至っていない。この課題解決に向けて、今回の公募研究ではゲルマネンの物性計測やデバイス応用に資する構造(大気・熱安定性に優れる薄膜を絶縁膜上に合成すること)を早期に実現するとともに、熱電物性を世界に先駆け解明しその応用可能性を議論する。

研究実績の概要

本年度得られた主な成果を以下に示す。
(1)カルシウムシリサイド(CaSi2)薄膜の合成および熱電物性評価:スパッタリング法を用い、高抵抗Si(111)基板上にCaSi2薄膜の形成を試みた。6R-CaSi2 006, 0012, 0015, 0018に帰属されるX線回折ピークが観測された。6R-CaSi2 0012のピーク位置からc軸長を算出したところバルク(3.060 nm)に対して0.2%大きな値が得られた。これは6R-CaSi2薄膜とSi基板の間に存在する格子ミスマッチ(~4%)に由来すると考えられる。熱電物性を室温で測定したところ、パワーファクターは9.6 μV/cmK2と先行研究に比べると低い値であったが、低温領域においてフォノンドラッグ起因のゼーベック係数の増大が見られることを発見した。
(2)水素修飾ゲルマネン(GeH)薄膜の熱安定性評価:Ge(111)基板上に合成したGeH薄膜試料を用い、水素脱離する際の加熱条件と結晶構造の相関をX線回折法により調査した。超高真空中では300℃程度までの加熱であれば、当該材料特有の層状構造が破壊されないことが判明した。先行研究の熱安定性(H2/Ar雰囲気中では75℃で非晶質化)を大きく上回る、インパクトある成果である。

現在までの達成度 (段落)

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 4件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Tensile-strained Ge1-xSnx layers on Si(001) substrate by solid-phase epitaxy featuring seed layer introduction2024

    • 著者名/発表者名
      Hiraide Tatsuma、Shibayama Shigehisa、Kurosawa Masashi、Sakashita Mitsuo、Nakatsuka Osamu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 4 ページ: 045505-045505

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad358f

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heteroepitaxial growth of CaGe2 films on high-resistivity Si(111) substrates and its application for germanane synthesizing2023

    • 著者名/発表者名
      Okada Kazuya、Shibayama Shigehisa、Sakashita Mitsuo、Nakatsuka Osamu、Kurosawa Masashi
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 161 ページ: 107462-107462

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2023.107462

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 高抵抗Si(111)基板上へのCaSi2薄膜形成と低温熱電物性評価2024

    • 著者名/発表者名
      加藤高, 柴山茂久, 坂下満男 , 中塚理, 片瀬貴義, 黒澤昌志
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 真空中加熱によるGe(111)基板上GeH薄膜の層間距離変化2024

    • 著者名/発表者名
      松本一歩, 洗平昌晃, 柴山茂久, 坂下満男, 中塚理, 黒澤昌志
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Low-temperature Thermoelectric Properties of GeSn Alloys Films2023

    • 著者名/発表者名
      M. Kurosawa, T. Katase, Y. Imai, M. Nakata, M. Kimura, T. Kamiya, S. Shibayama, M. Sakashita, and O. Nakatsuka
    • 学会等名
      The Joint ISDTM/ICSI conference 2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] First-principles study on two-dimensional materials of silicon/germanium2023

    • 著者名/発表者名
      M. Araidai, M. Itoh, D. Ishihara, M. Kurosawa, A. Ohta, A. Yamakage, and K. Shiraishi
    • 学会等名
      2023年日本表面真空学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 粉末シリカンとゲルマナンの電気的特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      大西康介, 上田光秀, 山田繁, 伊藤貴司, 黒澤昌志
    • 学会等名
      第10回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] A new challenge in group-IV materials: energy harvesting application & 2D crystal synthesizing2023

    • 著者名/発表者名
      M. Kurosawa, A. Ohta, M. Araidai, S. Shibayama, M. Sakashita, and O. Nakatsuka
    • 学会等名
      14th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Molecular beam epitaxy of CaGe2 layers on Si(111) substrate2022

    • 著者名/発表者名
      K. Okada, S. Shibayama, O. Nakatsuka, and M. Kurosawa
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高抵抗Si(111)基板上における多層シリカンナノシートの形成2022

    • 著者名/発表者名
      伊藤善常, 柴山茂久, 坂下満男, 中塚理, 黒澤昌志
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 14 族半導体ナノシートの結晶成長とデバイス応用2022

    • 著者名/発表者名
      黒澤昌志
    • 学会等名
      2022年度 東海NFRW・若手チャプタージョイントワークショップ
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Synthesis of multilayer two-dimensional group-IV flakes and nanosheets2022

    • 著者名/発表者名
      M. Kurosawa, M. Itoh, Y. Ito, K. Okada, A. Ohta, M. Araidai, K. O. Hara, Y. Ando, S. Yamada, S. Shibayama, M. Sakashita, O. Nakatsuka
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2022-06-20   更新日: 2024-12-25  

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