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ナノ界面近傍における電子状態の診断

公募研究

研究領域プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成
研究課題/領域番号 24110715
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関九州大学

研究代表者

富田 健太郎  九州大学, 総合理工学研究科(研究院), 助教 (70452729)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2013年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2012年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
キーワードトムソン散乱 / 液体電極 / 電子密度 / 電子温度 / 大気圧プラズマ / 気液界面プラズマ / トムソン散乱法 / 大気圧非熱平衡プラズマ / イオン液体
研究概要

気相であるプラズマと電極等の固相間の界面は、プラズマプロセスに直接的に関わると考えられるため、これまで様々な研究が行われてきた。本研究では、低圧プロセスプラズマと、液面と接する大気圧プラズマを対象に、プラズマの電子状態診断を行った。
大気圧プラズマは、近年では固体ではなく、液体と接した状態に注目が集まっている。これは、大気圧プラズマの医療やバイオ応用を考えた時、液体とプラズマの接触が避けられないからである。しかし、液体とプラズマが接することで、プラズマの基礎物理量(電子密度や電子温度)がどのように影響を受けるかは、まだ明らかになっていない。
このような背景のもと、液体と接する大気圧プラズマ中の電子密度・電子温度を、レーザートムソン散乱法を用いて測定した。トムソン散乱法を用いたのは、液体を含まない大気圧プラズマの診断手法として、高い信頼性を有しているからである。一方、大気圧程度に密度の高いガス中に計測用レーザーを入射すると、母ガスを多光子電離してしまい、計測が不正確になる恐れがある。本研究ではそのような擾乱に配慮し、十分にレーザーパワー密度が低い領域で、計測を行った。十分に低いパワー密度では、その反面、得られるトムソン散乱光強度が微弱となり、レーザー1000ショット程度の積算計測が必須となる。そのような計測が実現できるナノ秒パルス放電と、蒸気圧が極めて低い液体材料(イオン液体)を併用することで、安定した放電生成環境の元、液体電極使用による放電状況の変化を定量的に把握した。
低圧プロセスプラズマについては、数Torrオーダーのプローブ計測が困難となる圧力のプラズマについて、トムソン散乱法が適用可能な領域を明らかにした。

現在までの達成度 (区分)
理由

25年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

25年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2013 実績報告書
  • 2012 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2014 2013

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (4件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Diagnostics of VHF Argon Plasmas by Laser Thomson Scattering2013

    • 著者名/発表者名
      Weiting CHEN, Kohei OGIWARA, Koichiro KOGE, Kentaro TOMITA, Kiichiro UCHINO and Yoshinobu KAWAI
    • 雑誌名

      Plasma and Fusion Research

      巻: 8 号: 0 ページ: 1306114-1306114

    • DOI

      10.1585/pfr.8.1306114

    • NAID

      10031200890

    • ISSN
      1880-6821
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Diagnostics of Atmospheric Pressure Plasmas Using Laser Thomson Scatteirng2014

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tomita, Nima Bolouki, Kazutaka Nishikawa, Kazuhiko Nagai, Yukihiko Yamagata, Kiichiro Uchino
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center, Fukuoka
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Thomson Scattering Diagnostics of Atmospheric Pressure Plasmas Generated with Ionic Liquid Electrode2013

    • 著者名/発表者名
      富田健太郎
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science
    • 発表場所
      下呂交流会館(岐阜県)
    • 年月日
      2013-02-02
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Thomson scattering diagnostics of pulsed filament discharges produced at near-atmospheric2013

    • 著者名/発表者名
      富田健太郎
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県)
    • 年月日
      2013-01-28
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Diagnostics of Streamer Discharges Using Laser Thomson Scattering at Around Atmospheric Pressure2013

    • 著者名/発表者名
      Nima Bolouki, Kentaro Tomita, Yukihiko Yamagata, Kiichiro Uchino
    • 学会等名
      26th Symposium on Plasma Science and Materials
    • 発表場所
      Central Hall of Kyushu University School of Medicine, Fukuoka
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書

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公開日: 2013-05-15   更新日: 2019-07-29  

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