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IV族元素を基盤とした膜とプラズマとの反応解析によるプラズマ応用プロセスの最適化

公募研究

研究領域プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成
研究課題/領域番号 24110716
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関長崎大学

研究代表者

篠原 正典  長崎大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80346931)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2013年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2012年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワード赤外吸収分光法 / 多重内部反射 / プラズマ / アモルファス炭素膜 / IV族元素 / 自己組織化膜 / 反応 / 生体分子
研究概要

プラズマ技術を用いたバイオ・医療の実現には,プラズマとバイオ分子の反応解析が必要である。しかし,バイオ分子は種類が多いばかりか,分子量も大きく,様々な官能基を持っており,すべての分子を調べることはできない。そもそもバイオ分子は炭素を基盤とする材料であるので,これまで,炭素,シリコンなどIV族元素を基盤とした膜とプラズマとの反応解析は広く調べられており,これらの知見を利用することにより,プララズマの医療・バイオ応用の最適プロセスを提示できると考えられる。本研究では,化学結合状態・膜の構造が規定される自己組織化膜(SAM) をバイオモデル物質ととらえ,SAMとプラズマとの反応に注目した。SAMは種類を選ぶことで様々な官能基を持った表面状態を作り出せるため,特定の官能基とプラズマの反応を調べることが可能である。さらに,生体分子は水や血液など液体中で反応することが多いため,液中プラズマとの反応に注目した。
タンパクの主要な構成要素であるNH2に注目し,NH2で終端されたSAMとH2O2中のプラズマの反応,CH3で終端されたSAMとH2O2中のプラズマの反応を比較することで,終端しているNH2,SAMの骨格の-CH2-の結合について赤外吸収分光を用いたその場計測を用いて調べた。CH3で終端されたSAMでは,プラズマの曝露と共にCH2は分解されていくことが分かった。一方で,NH2で終端されたSAMでは,プラズマの曝露によりNH2の結合は消失するが,CH2は減少しない。ここから,NH2はプラズマにより分解されるのではなく,NO化され,分子量がNH2よりも大きくなることによりプラズマの生成種がSAMの骨格の-CH2-に到達するのを防ぐキャップをする効果となる。本研究により,巨大なバイオ分子を取り扱う際に重要な知見が得られたと考えられる。

現在までの達成度 (区分)
理由

25年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

25年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2013 実績報告書
  • 2012 実績報告書
  • 研究成果

    (23件)

すべて 2014 2013 2012

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (16件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Reactions of Surface Hydrogen on Amorphous Carbon Films with Hydrogen Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara, Taka-aki Kawakami, Ko-jiro Hara, Shohei Yagi, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 1 ページ: 10204-10204

    • DOI

      10.7567/jjap.53.010204

    • NAID

      210000143216

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of an in-situ infrared spectroscopic measurement of plasma-induced reactions in ethanol2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, A. Fuakae, K. Amano, Y. Yoshida, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol. 52, No.11 号: 11S ページ: 11NC06-11NC06

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nc06

    • NAID

      210000143109

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] プラズマ工学の最新動向2014

    • 著者名/発表者名
      篠原 正典, 金 載浩
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 134 号: 1 ページ: 41-46

    • DOI

      10.1541/ieejfms.134.41

    • NAID

      130003382669

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, Y. Takami, S. Takabayashi, A. Oda, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      巻: 41 号: 8 ページ: 1878-1883

    • DOI

      10.1109/tps.2013.2263850

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 吉田 裕太,丸野 尚紀,篠原 正典,松田 良信,藤山 寛2013

    • 著者名/発表者名
      吉田 裕太,丸野 尚紀,篠原 正典,松田 良信,藤山 寛 自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料

      巻: PST-13-086~103 ページ: 91-94

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] Surface modification of DLC film due to oxygen plasma exposure, observed by IR absorption spectroscopy in multipleinternal- reflection geometry2012

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, Y. Takaki, Y. Takami, Y. Matuda, and H. Fujiyama
    • 雑誌名

      IEEE Trans. of Plasma Science

      巻: Vo l . 40, No. 10 号: 10 ページ: 2756-2761

    • DOI

      10.1109/tps.2012.2208766

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いたプラズマが誘起する表面反応の解析~気相プラズマから液中プラズマ~2012

    • 著者名/発表者名
      篠原正典,松田良信,藤山 寛
    • 雑誌名

      化学工業

      巻: 63 ページ: 942-946

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Infrared spectroscopy of hydrogenation of Si surface exposed to hydrogen plasma2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, N. Maruno, S. Yagi, Y. Taniguchi, T. Tsumura, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas
    • 発表場所
      福岡国際会議場 (福岡県福岡市)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Infrared spectroscopy of reactions induced by plasma2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, S. Yagi, Y. Taniguchi, N. Maruno, Y. Yoshida, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      原子分子データのフォーラム
    • 発表場所
      核融合科学研究所 (岐阜県土岐市)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Reaction of plasmas with a self-assembly monolayer film, investigated with infrared spectroscopy2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yoshida, N. Maruno, Y. Taniguchi, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      ラマダホテル (韓国済州市)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解析2013

    • 著者名/発表者名
      吉田裕太,丸野尚紀,篠原正典,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学 (長崎県長崎市)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 燃料電池・有機デバイス材料およびバイオ応用にむけたプラズマプロセスの開発と診断2013

    • 著者名/発表者名
      篠原正典,八木翔平,谷口雄二郎,丸野尚紀,吉田裕太, 松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      第29回 九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      クレド臼杵ホテル (大分県臼杵市)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Carbon-related particle formation with plasma generated in liquid phase2013

    • 著者名/発表者名
      Musab Timan , M. Shinohara, Y. Yoshida, Y. Matsuda and H. Fujiyama
    • 学会等名
      日本MRSシンポジウム
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館 (神奈川県横浜市)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Development of MIR-IRAS monitoring system for solution plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, Y. Takaki, Y. Takami, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      IS Plasma 2013
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県名古屋市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Infrared spectroscopic study on plasma induced reaction on Si surface2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Takami, Y. Takaki, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      IS Plasma 2013
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県名古屋市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いたプラズマプロセシング診断2013

    • 著者名/発表者名
      天野 勝裕, 八木 翔平, 高木 雄也, 深江 陽大, 高見 佳生, 津村 高成, 篠原 正典, 松田 良信, 藤山 寛
    • 学会等名
      第30回 プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松・研修交流センター (静岡県浜松市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Development of In-situ MIR-IRAS monitoring systm for reactions induced by solution plasma generation2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      International Conference Renewable Energy and Related Applications
    • 発表場所
      ベストウェスタンプレミアムホテル長崎 (長崎県長崎市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Hydrogenation of Si(110) Surface due to Hydrogen Plasma Exposure, investigated with In-situ MIR-IRAS2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Takmi, Y. Takaki, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      International Conference Renewable Energy and Related Applications
    • 発表場所
      ベストウェスタンプレミアムホテル長崎 (長崎県長崎市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Plasma exposure effects on the behavior of hydrogen on amorphous carbon film2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Takaki, S. Yagi, Y. Takami, T. Tsumura, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama,
    • 学会等名
      Asian Pacific Conference Plasma Science and Technology 2012
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス (京都府京都市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Infrared spectroscopic study of interaction of hydrogen plasma with Si surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Takami, T. Tsumura, Y. Takaki, S. Yagi, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama,
    • 学会等名
      Asian Pacific Conference Plasma Science and Technology 2012
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス (京都府京都市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Development of IR monitoring system of solution plasma2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      Asian Pacific Conference Plasma Science and Technology 2012
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス (京都府京都市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いたプラズマプロセスの計測2012

    • 著者名/発表者名
      篠原正典,深江陽大,天野勝裕,高見佳生,高木雄也,八木翔平,津村高成,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      岩手大学 (岩手県盛岡市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 赤外吸収分光法計測を用いたプラズマが誘起する表面反応の解析・解明2012

    • 著者名/発表者名
      篠原正典, 高木雄也, 高見佳生, 深江陽大, 天野勝裕, 八木翔平, 津村高成, 松田良信, 藤山 寛
    • 学会等名
      九州山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      由布院倶楽部. ( 大分県由布市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2013-05-15   更新日: 2019-07-29  

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