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バルクナノ結晶粒半導体の新規創製

公募研究

研究領域バルクナノメタル ー常識を覆す新しい構造材料の科学
研究課題/領域番号 25102708
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関九州大学

研究代表者

生駒 嘉史  九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (90315119)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
10,790千円 (直接経費: 8,300千円、間接経費: 2,490千円)
2014年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2013年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
キーワード巨大ひずみ加工 / 半導体 / 相変態 / 準安定相 / 結晶粒微細化 / 半導体材料
研究実績の概要

本年度はGeおよびGaAsのHPT加工によるバルクナノ結晶粒作製とZnTeの新規HPT加工実験を行った。いずれの場合も付与圧力を24 GPaとした。
GeのHPT加工には、純度99.999%のディスク試料を用いた。HPT加工後では、ダイヤモンド構造のGe-Iに加えて準安定相であるGe-IIIが観察され、準安定相の形成が付与ひずみにより促進されることがわかった。HPT加工後の試料を窒素雰囲気中でアニール処理すると、XRDおよびラマン測定にてGe-IIIに対応するピークは消滅し、Ge-Iへ相変態することがわかった。また室温におけるフォトルミネッセンス(PL)測定では、Ge-Iナノ結晶に起因する600~800 nmにブロードなピークが観察された。
GaAsのHPT加工には、単結晶GaAs(100)基板小片を用い、423 Kにて温間HPT加工を行った。温間加工後のXRD測定では、GaAs-Iの回折ピークのみが観察され、準安定相は観察されなかった。PLスペクトルでは、700 nm付近のブロードなピークが観察され、結晶粒微細化とアニール効果が同時に生じたことがわかった。
ZnTeのHPT加工には、PドープZnTe(100)基板の小片を用いた。HPT加工後はジンクブレンド構造のZnTe-Iにて構成されることがわかった。773 Kにてアニールを行うと、550 nm付近のバンドギャップに対応するPLピークに加え、680 nmを中心とするPLピークが観察された。これはHPT加工により格子欠陥や空孔が導入された後、アニールによりTeおよびZn原子の拡散が促進されたと考えられる。
以上の結果より、HPT加工とアニール処理を組み合わせることで、バルクナノ結晶粒半導体が得られること、また光学的特性においてバルクとは異なる性質が得られることが明らかとなった。

現在までの達成度 (段落)

26年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

26年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2014 実績報告書
  • 2013 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (12件) (うち招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Fabrication of nanograined silicon by high-pressure torsion2014

    • 著者名/発表者名
      Yoshifumi Ikoma, Kazunori Hayano, Kaveh Edalati, Katsuhiko Saito, Qixin Guo, Zenji Horita, Toshihiro Aoki, David J. Smith
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science

      巻: 49 号: 19 ページ: 6565-6569

    • DOI

      10.1007/s10853-014-8250-z

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Thermal conductivity reduction of crystalline silicon by high-pressure torsion2014

    • 著者名/発表者名
      Sivasankaran Harish, Mitsuru Tabara, Yoshifumi Ikoma, Zenji Horita, Yasuyuki Takata, David G. Cahill, Masamichi Kohno
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 9 号: 1 ページ: 326-326

    • DOI

      10.1186/1556-276x-9-326

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Nanograin formation of GaAs by high-pressure torsion2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikoma, Y. Ejiri, K. Hayano, K. Saito, Q. Guo and Z. Horita
    • 雑誌名

      Philosophical Magazine Letters

      巻: 94 号: 1 ページ: 1-8

    • DOI

      10.1080/09500839.2013.852265

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] HPT加工を施したゲルマニウムのフォトルミネッセンス特性2015

    • 著者名/発表者名
      生駒 嘉史, 豊田 貴光, 江尻 幸賢, 堀田 善治, 齊藤 勝彦, 郭 其新
    • 学会等名
      日本金属学会2015年(第156回)春期講演大会
    • 発表場所
      東京大学駒場I地区キャンパス
    • 年月日
      2015-03-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Phase transformation and nanograin formation of semiconductor materials by high-pressure torsion2015

    • 著者名/発表者名
      Yoshifumi Ikoma
    • 学会等名
      2015 International Symposium on Advanced Materials and Optoelectronics
    • 発表場所
      Saga University
    • 年月日
      2015-01-27
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 高圧ひずみ加工によるバルクシリコンの熱伝導率の低減2014

    • 著者名/発表者名
      田原 充, Sivasankaran Harish, 生駒 嘉史, 堀田 善治, 高田 保之, D. G Cahill, 河野 正道
    • 学会等名
      第35回日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2014-11-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 巨大ひずみ加工によるバルクナノ結晶粒半導体の作製2014

    • 著者名/発表者名
      生駒 嘉史
    • 学会等名
      日本金属学会2014年秋期(第155回)講演大会 (基調講演)
    • 発表場所
      名古屋大学東山キャンパス
    • 年月日
      2014-09-25
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] HPT加工によるバルクナノ結晶GaAsの作製: 付与ひずみ・温度依存性2014

    • 著者名/発表者名
      江尻 幸賢、生駒 嘉史、堀田 善治、齊藤 勝彦、郭 其新
    • 学会等名
      日本金属学会2014年秋期(第155回)講演大会
    • 発表場所
      名古屋大学東山キャンパス
    • 年月日
      2014-09-24
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Formation of metastable phases in germanium by high-pressure torsion2014

    • 著者名/発表者名
      Yoshifumi Ikoma, Takamitsu Toyota, Yoshimasa Ejiri, Kazunori Hayano, Katsuhiko Saito, Qixin Guo, Zenji Horita
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Nanomaterials by Severe Plastic Deformation (NanoSPD6)
    • 発表場所
      Arsenal, Metz, France
    • 年月日
      2014-07-04
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Formation of Metastable Phases of Silicon Processed by High-pressure Torsion2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikoma, K. Hayano, K. Edalati, K. Saito, Q. Guo, Z. Horita
    • 学会等名
      TMS 2014 143rd Annual Meeting & Exhibition
    • 発表場所
      San Diego Convention Center, San Diego, California, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Production of nanograined semiconductors using high-pressure torsion2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshifumi Ikoma
    • 学会等名
      2013 International Symposium on Advanced Materials and Synchrotron Light
    • 発表場所
      Saga University
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] HPT加工による微結晶GaAsの作製2013

    • 著者名/発表者名
      江尻幸賢、生駒嘉史、早野一紀、齊藤勝彦、郭其新、堀田善治
    • 学会等名
      日本金属学会九州支部日本鉄鋼協会九州支部軽金属学会九州支部共催平成25年度合同学術講演大会
    • 発表場所
      熊本県民交流館パレア
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Production of Nanograined Silicon Using High-pressure Torsion2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikoma, K. Hayano, K. Edalati, K. Saito, Q. Guo, Z. Horita
    • 学会等名
      8th Pacific Rim International Congress on Advanced Materials and Processing (PRICM-8)
    • 発表場所
      Hilton Waikoloa Village, Waikoloa, Hawaii, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] HPT加工によるバルクナノ結晶Si作製:付与ひずみ依存性2013

    • 著者名/発表者名
      早野一紀、Kaveh Edalati、生駒嘉史、堀田善治、齊藤勝彦, 郭其新
    • 学会等名
      日本金属学会2013年秋期(第153回)講演大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] HPT加工したシリコンの微細構造2013

    • 著者名/発表者名
      生駒嘉史、早野一紀、Kaveh Edalati、堀田善治、齊藤勝彦、郭其新
    • 学会等名
      日本金属学会2013年秋期(第153回)講演大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書

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公開日: 2013-05-15   更新日: 2019-07-29  

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