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放射光ナノ顕微分光による原子層デバイスの界面状態オペランド解析とその系統的研究

公募研究

研究領域原子層科学
研究課題/領域番号 26107503
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構 (2015)
東北大学 (2014)

研究代表者

永村 直佳  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 先端材料解析研究拠点, 研究員 (40708799)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2015年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードオペランド分析 / グラフェン / トランジスタ / 界面 / 放射光 / 顕微分光 / イメージング
研究実績の概要

本研究の目的は、研究代表者らが開発してきた3次元走査型光電子顕微分光装置"3DnanoESCA"の高い空間分解能(<100nm)と非破壊状態分析可能性という強みを活かして、原子層材料や原子層デバイスの異種接合界面や原子層面内不均一性の解析を行い、マクロな機能特性への影響を調べることである。初年度は原子層デバイスを動作中オペランド分析できるよう装置改良し、実際にグラフェン電界効果トランジスタの動作中チャネル内ピンポイント分析を成功させた。最終年度であるH27年度は、以下に挙げるように新学術領域内外にわたる共同研究を展開し、3DnanoESCAを種々の原子層デバイス分析に活用した。
(1) グラフェン・遷移金属ダイカルゴゲナイド超薄膜トランジスタ…単原子層物質であるグラフェンや数原子層膜厚の二硫化モリブデンを剥離法によって作製し、チャネルとして用いた電界効果トランジスタについて、ゲート電圧を印加した状態で、輸送特性測定とチャネル内ピンポイント分光測定を同時に行い、チャネル/電極界面近傍のチャネル分布を明らかにした。
(2) 紫外線照射酸化グラフェン…単層グラフェンの電界効果トランジスタ構造に、風ゲート電圧印加下で紫外線照射するとエッジ付近で選択的に酸素吸着してエッチングが進むことが知られており、紫外線照射に伴うグラフェンチャネル内の酸化状態の空間不均一性についてnanoESCAでマッピング分析を行った。その結果、炭素と酸素のコアレベルスペクトルから4つの段階的な酸化状態が存在することが示された。
(3) 原子層触媒…窒素ドープHOPGの表面酸素吸着量解析、BN単層ナノシート触媒の価電子帯空間状態分析、La2Ti2CuSO7など人工光合成触媒ナノクラスターの面方位による触媒活性変化の分析などを行った。
上記の成果により、H27年度中に論文・解説を2本出版し(5本投稿中および執筆中あり)、10件の学会発表(うち招待講演4件)を行った。

現在までの達成度 (段落)

27年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

27年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 謝辞記載あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 2件、 招待講演 6件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] 電子デバイスのオペランド光電子分光実験2016

    • 著者名/発表者名
      永村直佳, 堀場弘治, 尾嶋正治
    • 雑誌名

      表面科学

      巻: 37 号: 1 ページ: 25-30

    • DOI

      10.1380/jsssj.37.25

    • NAID

      130005121614

    • ISSN
      0388-5321, 1881-4743
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Chemical potential shift in organic field-effect transistors identified by soft X-ray operando nano-spectroscopy2015

    • 著者名/発表者名
      Naoka Nagamura, Yuta Kitada, Junto Tsurumi, Hiroyuki Matsui, Koji Horiba, Itaru Honma, Jun Takeya, and Masaharu Oshima
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 106 号: 25 ページ: 251604-251604

    • DOI

      10.1063/1.4922902

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Microscopically-Tuned Band Structure of Epitaxial Graphene through Interface and Stacking Variations Using Si Substrate Microfabrication2014

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Fukidome, Takayuki Ide, Yusuke Kawai, Toshihiro Shinohara, Naoka Nagamura, Koji Horiba, Masato Kotsugi, Takuo Ohkochi, Toyohiko Kinoshita, Hiroshi Kumighashira, Masaharu Oshima, Maki Suemitsu
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 4 号: 1 ページ: 5173-5173

    • DOI

      10.1038/srep05173

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Pinpoint operando analysis of the electronic states of a graphene transistor using photoelectron nanospectroscopy2014

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Fukidome, Kousuke Nagashio, Naoka Nagamura, Keiichiro Tashima, Kazutoshi Funakubo, Koji Horiba, Maki Suemitsu, Akira Toriumi, Masaharu Oshima
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 7 号: 6 ページ: 065101-065101

    • DOI

      10.7567/apex.7.065101

    • NAID

      210000137137

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 3D-nano ESCAによるLa5Ti2MS5O7(M=Cu,Ag)のピンポイント電子状態解析2016

    • 著者名/発表者名
      坂井延寿,永村 直佳,Liu Jingyuan,久富隆史,山田太郎,尾嶋正治,堂免一成
    • 学会等名
      応用物理学会 2016年春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 3次元nanoESCAを用いた紫外線照射グラフェンの化学結合状態観察2016

    • 著者名/発表者名
      今野隼,永村直佳,松本守広,野内亮,小嗣真人,尾嶋正治
    • 学会等名
      日本物理学会 第71回年次大会
    • 発表場所
      東北学院大学 泉キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 3次元nanoESCAによる紫外線照射グラフェンの局所化学結合状態の解析2016

    • 著者名/発表者名
      今野隼,永村直佳,松本守広,野内亮,小嗣真人,尾嶋正治
    • 学会等名
      顕微ナノ材料科学研究会 第11回日本表面科学会放射光表面科学研究部会・SPRUC顕微ナノ材料科学研究会合同シンポジウム
    • 発表場所
      SPring-8
    • 年月日
      2016-03-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Operando spectromicroscopic analysis of chemical potential shift in organic field-effect transistors2015

    • 著者名/発表者名
      N. Nagamura, Y. Kitada, J. Tsurumi, H. Matsui, K. Horiba, I. Honma, J. Takeya and M. Oshima
    • 学会等名
      The International Chemical Cobgress of Pacific Basin Societies 2015 (Pacifichem2015)
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • 年月日
      2015-12-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] グラフェン素子開発のためのオペランドナノ顕微分光分析2015

    • 著者名/発表者名
      永村直佳, 吹留博一, 堀場弘治, 尾嶋正治
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜万国橋国際センター
    • 年月日
      2015-12-08
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Synchrotron radiation soft X-ray spectroscopy as a powerful tool for organic material analysis2015

    • 著者名/発表者名
      Naoka Nagamura
    • 学会等名
      TAGEN Mini-symposium on "Current status and future prospects for Chemistry and Material Science with novel light sources"
    • 発表場所
      東北大学 片平キャンパス
    • 年月日
      2015-11-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Electronic state analysis of organic materials using synchrotron radiation soft X-ray2015

    • 著者名/発表者名
      永村直佳, 北田祐太, 谷木良輔, 鶴見淳人, 松井弘之, 堀場弘司, 朝倉大輔, 細野英司, 本間格, 竹谷純一, 尾嶋正治
    • 学会等名
      The 2nd Tohoku University and NIMS-GREEN Joint Symposium
    • 発表場所
      東北大学 片平キャンパス
    • 年月日
      2015-10-30
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 放射光軟X線を利用したナノデバイスの動作中分光分析2015

    • 著者名/発表者名
      永村直佳
    • 学会等名
      東北大学若手アンサンブル研究会ワークショップ
    • 発表場所
      東北大学 片平キャンパス
    • 年月日
      2015-07-23
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Operando spectromicroscopy for device nanostructure2015

    • 著者名/発表者名
      Naoka Nagamura
    • 学会等名
      NIMS Conference 2015 "Materials Innovation Driven by Advanced Characterization"
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2015-07-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] オペランド光電子分光実験2015

    • 著者名/発表者名
      永村直佳
    • 学会等名
      日本表面科学会関東支部 第1回関東支部セミナー 表面・薄膜分析シリーズ Vol. 1 「光電子分光のフロンティア ~スピン・時空間分解から電池・触媒開発のオペランド観測~」
    • 発表場所
      東京大学 本郷キャンパス
    • 年月日
      2015-05-22
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 3次元ナノESCAを活用した電子・エネルギーデバイスのオペランド解析2014

    • 著者名/発表者名
      永村直佳
    • 学会等名
      日本真空学会2014年12月研究例会 主題「次世代放射光における加速器・真空科学と表面分析」
    • 発表場所
      東北大学 片平キャンパス
    • 年月日
      2014-12-03
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 放射光軟X線走査型顕微分光を活用したナノデバイス表面・界面解析2014

    • 著者名/発表者名
      永村直佳
    • 学会等名
      日本学術振興会「先端ナノデバイス・材料テクノロジー第151委員会」 平成26年度 第5回研究会
    • 発表場所
      早稲田大学 研究開発センター
    • 年月日
      2014-11-14
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [備考] グラフェン素子の性能劣化原因とされる高抵抗領域の形成メカニズム解明

    • URL

      http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2013/130531/

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-28  

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