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2008 年度 実績報告書

III族窒化物半導体の点欠陥と発光ダイナミックスの研究

計画研究

研究領域窒化物光半導体のフロンティア-材料潜在能力の極限発現-
研究課題/領域番号 18069001
研究機関筑波大学

研究代表者

上殿 明良  筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授 (20213374)

研究分担者 秩父 重英  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (80266907)
押山 淳  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (80143361)
白石 賢二  筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 教授 (20334039)
キーワードGaN / AlN / InN / 点欠陥 / 光学測定 / 第一原理計算 / 陽電子消滅 / 非輻射再結合
研究概要

本研究班の目的は, 陽電子消滅, 時間・空間分解分光法, 第一原理計算等を用いて, III族窒化物半導体の点欠陥の特性を明らかにし同半導体の光学的特性向上に寄与することにある.
AINや非極性面GaN, InGaN. AIGaNについて, 時間・空間分解分光法の結果と陽電子消滅測定の結果を比較することにより, 輻射・非輻射再結合過程やそのモル分率依存性と点欠陥の関係について知見を深めた. また, 本特定研究AO2「物性評価」総括を担当する吉川グループと共同でInNの点欠陥に関する研究を行った. プラズマMBEによりMg濃度を系統的に変化させたInNを作製した. Mg濃度が増大すると, InNの電気伝導性がn型からp型に変化することをECV及びホール測定法で確認した. さらにMg濃度が上昇すると, 伝導性は再びn型に変化する. Mg濃度が低い場合, 実験で得た陽電子消滅γ線ドップラー拡がり分布は, 陽電子がN空孔集合体に捕獲されている場合の第一原理計算の結果と良く一致した. 伝導性がp型からn型へ変化すると, ドップラー拡がり分布は先鋭化したが, これは, In空孔とN空孔の集合体に陽電子が捕獲されるためである. N空孔が集合すると陽電子を捕獲することから, 単独のN空孔はドナーとして働くが, それらが集合すると, 電子放出が抑えられることがわかった. 以上の実験により, p型InN作製にはN空孔の制御が重要であることを示した.

  • 研究成果

    (49件)

すべて 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (11件) (うち査読あり 11件) 学会発表 (30件) 図書 (1件) 備考 (6件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Free and bound exciton fine structures in AlN epilayers grown by low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy2009

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys 105

      ページ: 023529(1-7)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impacts of anisotropic lattice relaxation on crystal mosaicity and luminescence spectra of m-plane Al_xGa_1-xN films grown on m-plane freestanding GaN substrates by NH3-source molecular beam epitaxy2009

    • 著者名/発表者名
      星拓也
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett 94

      ページ: 071910(1-3)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vacancy-oxygen complexes and their optical properties in AlN epitaxial films studied by positron annihilation2009

    • 著者名/発表者名
      上殿明良
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 105

      ページ: 054507(1-6)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vacancy-type defects in Mg-doped InN probed by means of positron annihilation m2009

    • 著者名/発表者名
      上殿明良
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys 105

      ページ: 054507(1-6)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vacancy-type defects in Er-doped GaN studied by a monoenergetic positron beam2008

    • 著者名/発表者名
      上殿明良
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 103

      ページ: 104505(1-5)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anisotropic optical gain in m-plane In_xGa_1-xN/GaN multiple quantum well laser diode wafers fabricated on the low defect density free-standing GaN substrates2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 93

      ページ: 091112(1-3)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optical properties of nearly stacking-fault-free m-plane GaN homoepitaxial films grown by metalorganic vapor phase epitaxy on low defect density free-standing GaN substrates2008

    • 著者名/発表者名
      秩父 重英
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 93

      ページ: 129901(1)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved characteristics and issues of m-plane InGaN films grown on low defect density m-plane freestanding GaN substrates by metalorganic vapor phase epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett 93

      ページ: 151908(1-3)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 非極性面窒化物半導体発光素子の最近の動向2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 雑誌名

      マテリアルインテグレーション(特集 : 発光材料の新展開) 21

      ページ: 53-63

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Correlation between the violet luminescence intensity and defect density in AlN epilayers grown by ammonia-source moleculer beam epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      星拓也
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi. 5

      ページ: 2129-2132

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intrinsic ferromagnetism due to cation vacancies in Gd-doped GaN : First-principles calculations2008

    • 著者名/発表者名
      合田義弘
    • 雑誌名

      Phys. Rev. B 78

      ページ: 161201(R)(1-4)

    • 査読あり
  • [学会発表] m面自立GaN基板上NH_3-MBE成長ホモエピタキシャル薄膜の構造的・光学的特性のV/III比依存性2009

    • 著者名/発表者名
      羽豆耕治
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      つくば, 茨城
    • 年月日
      2009-03-30
  • [学会発表] 窒化物半導体における陽イオン空孔による磁性2009

    • 著者名/発表者名
      合田義弘
    • 学会等名
      2008年秋季日本物理学会大会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 年月日
      2009-03-21
  • [学会発表] Cation Vacancies in Nitride Semiconductors : A Possibility of Intrinsic Ferromagnetism2009

    • 著者名/発表者名
      押山淳
    • 学会等名
      JST-DFG Workshop on Nanoelectronics
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2009-01-21
  • [学会発表] Growth issues and optical properties of nonpolar (Al,In,Ga)N films and quantum wells2009

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      The 3rd Japan-Germany Joint Workshop on Nanoelectronics
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2009-01-21
  • [学会発表] 非極性面窒化物半導体薄膜成長と問題点2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      東北大学多元物質科学研究所窒化物ナノ・エレクトロニクス材料研究センター講演会
    • 発表場所
      仙台, 宮城
    • 年月日
      2008-10-30
  • [学会発表] Polarized and Spatially-Resolved iCathodoluminescence Studies of m-plane AlxGal-xN Films Grown on Low Defect Density Free-Standing GaN Substrates2008

    • 著者名/発表者名
      羽豆耕治
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Montreux, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-08
  • [学会発表] Optical Gain in Low Dislocation Density Nonpolar m-plane InGaN/GaN MQW LD Wafers Lased at 400 nm and 426 nm2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Montreux, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-08
  • [学会発表] Ammonia Source Molecular Beam Epitaxy of m-plane AlxGal-xN Films Exhibiting Negligible Deep Emission Bands on Low Defect Density Free-Standing GaN Substrates2008

    • 著者名/発表者名
      星拓也
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Montreux, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-08
  • [学会発表] Optical Properties of Nearly Stacking-Fault-Free m-plane GaN and InGaN Films Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy on Low Defect Density Free-Standing Substrates2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Montreux, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-06
  • [学会発表] Impacts of Dislocation Bending and growth polar direction on the Local Cathodoluminescence Spectra of GaN Prepared by Seeded Ammonothermal Growth2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Montreux, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-06
  • [学会発表] 陽電子消滅を用いたMgドープInNの点欠陥の研究2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木順也
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学春日井キャンパス
    • 年月日
      2008-09-04
  • [学会発表] Continuous-Wave Operation of mPlane InGaN Multiple Quantum Well Laser Diodes2008

    • 著者名/発表者名
      岡本國美
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井, 愛知
    • 年月日
      2008-09-03
  • [学会発表] m面自立GaN基板上へのAl_xGa_1-xN薄膜のNH_3ソースMBE成長2008

    • 著者名/発表者名
      星拓也
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井, 愛知
    • 年月日
      2008-09-03
  • [学会発表] m面自立GaN基板上に成長したAl_xGa_1-xN薄膜の偏光・空間分解陰極線蛍光特性2008

    • 著者名/発表者名
      羽豆耕治
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井, 愛知
    • 年月日
      2008-09-03
  • [学会発表] 酸性鉱化剤を用いた安熱合成GaNエピタキシャル層の陰極線蛍光特性2008

    • 著者名/発表者名
      羽豆耕治
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井, 愛知
    • 年月日
      2008-09-02
  • [学会発表] Naフラックス法により成長したGaN単結晶の発光特性2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井, 愛知
    • 年月日
      2008-09-02
  • [学会発表] 陽電子を用いたIII族窒化物半導体の点欠陥の研究2008

    • 著者名/発表者名
      上殿明良
    • 学会等名
      特定領域研究「窒化物光半導体のフロンティア-材料潜在能力の極限発現-」公開シンポジウム
    • 発表場所
      学士会館(東京)
    • 年月日
      2008-08-01
  • [学会発表] III族窒化物半導体のカチオン空孔とGdの協奏的強磁性の可能性2008

    • 著者名/発表者名
      合田義弘
    • 学会等名
      特定領域研究「窒化物光半導体のフロンティア-材料潜在能力の極限発現-」公開シンポジウム
    • 発表場所
      学士会館(東京)
    • 年月日
      2008-08-01
  • [学会発表] 点欠陥がAIN薄膜の発光特性に与える影響2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      特定領域研究「窒化物光半導体のフロンティア-材料潜在能力の極限発現-」公開シンポジウム
    • 発表場所
      学士会館(東京)
    • 年月日
      2008-08-01
  • [学会発表] MOVPE of nearly stacking-fault-free m-plane (In,Ga)N films on low defect density free-standing GaN substrates2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium
    • 発表場所
      修善寺, 静岡
    • 年月日
      2008-07-10
  • [学会発表] Optical properties of nearly stacking-fault-free m-plane (In, Ga)N films grown by metalorganicivapor phase epitaxy on low defect density free-standing substrates2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      The Second International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      Izu, Japan
    • 年月日
      2008-07-08
  • [学会発表] Effects of dislocation bending and impurity incorporation on the local cathodoluminescence spectra of GaN prepared by seeded ammonothermal growth2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      The Second International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      Izu, Japan
    • 年月日
      2008-07-08
  • [学会発表] Point defects in group-III nitride semiconductors studied by positron annihilation2008

    • 著者名/発表者名
      A. Uedono, S. Ishibashi, T. Ohdaira, R. Suzuki
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      Izu, Japan
    • 年月日
      2008-07-06
  • [学会発表] Investigation of Defect Distribution and Optical Properties of Er Doped GaN2008

    • 著者名/発表者名
      S. Chen
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      The 2nd International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 年月日
      2008-07-06
  • [学会発表] Optical properties of nearly stacking-fault-free m-plane (In, Ga)N films grown by metalorganic vapor phase epitaxy on low defect density free-standing substrates2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      50th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      California, USA
    • 年月日
      2008-06-27
  • [学会発表] Optical gain in low dislocation density nonpolar m-plane InGaN/GaN MQW LD wafers2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 学会等名
      50th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      California, USA
    • 年月日
      2008-06-27
  • [学会発表] Effects of dislocation bending and impurity incorporation on the local cathodoluminescence spectra of GaN prepared by seeded ammonothermal growth2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      50th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      California, USA
    • 年月日
      2008-06-25
  • [学会発表] Impacts of point defects on the recombination dynamics and emission efficiency of (Al.Ga)N2008

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      The Fourth Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 年月日
      2008-05-23
  • [学会発表] Built-in and external bias-induced quantum-confined Stark effects in a nonpolar m-plane Ino,,Gam,N/GaN multiple quantum well light-emitting diode2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 学会等名
      7th International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices
    • 発表場所
      Phoenix, Arizona, USA
    • 年月日
      2008-05-01
  • [学会発表] Exciton fine structures in A1N epilayers grown by metalorganic vapor phase epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      尾沼猛儀
    • 学会等名
      7th International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices
    • 発表場所
      Phoenix, Arizona, USA
    • 年月日
      2008-04-27
  • [図書] Advances in Light Emitting Materials2008

    • 著者名/発表者名
      S. F. Chichibu
    • 総ページ数
      16
    • 出版者
      Trans Tech Publications
  • [備考] [学会賞・受賞等]

  • [備考] ・2008年度応用物理学会論文賞「JJAP論文賞」, 論文名 : Continuous-Wave Operation of m-Plane InGaN Multiple Quantum Well Laser Diodes, 掲載誌 : Japanese Journal of Applied Physics Vol. 46, No. 9, 2007, pp. L187-L189, 著者 : Kuniyoshi Okamoto, Hiroaki Ohta, Shigefusa F. Chichibu, Jun Ichihara, and Hidemi Takasu

  • [備考] ・第7回(2008年)ドコモ・モバイル・サイエンス賞基礎科学部門優秀賞, 「非視認通信および表示・照明用III族窒化物半導体の物性研究」

  • [備考] 雑誌記事等への引用など

  • [備考] ・第7回(2008年)ドコモ・モバイル・サイエンス賞基礎科学部門優秀賞, 「非視認通信および表示・照明用III族窒化物半導体の物性研究」

  • [備考] ・平成19年版科学技術白書映像集「科学技術振興の成果」(文部科学省)(2008年4月), 第9章「色の発明が生活を豊かに/青色発光ダイオード」に研究成果紹介

  • [産業財産権] 紫外線窒化物半導体発光素子およびその製造方法2008

    • 発明者名
      秩父重英
    • 権利者名
      東北大学・三菱化学
    • 産業財産権番号
      特願2008-219525
    • 出願年月日
      2008-08-28

URL: 

公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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