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2008 年度 自己評価報告書

極広域分光による窒化物半導体ナノデバイス構造の精密評価

計画研究

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研究領域窒化物光半導体のフロンティア-材料潜在能力の極限発現-
研究課題/領域番号 18069002
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関千葉大学

研究代表者

吉川 明彦  千葉大学, 工学研究科, 教授 (20016603)

研究期間 (年度) 2006 – 2010
キーワード窒化インジウム / 光物性・分光計測 / キャリアダイナミクス / 表面・界面物性 / ナノ構造デバイス / MBEエピタキシャル
研究概要

最小0.63eVまでの禁制帯幅を有すInNおよび高InNモル比窒化物系結晶を用いて、高効率窒化物発光素子の発光波長域を赤色・近赤外域へ拡大する基盤技術形成を行うことを目的とし、高密度欠陥・残留電子のために不明な高InNモル比窒化物系混晶の"真性"禁制帯幅など真の基礎物性の解明、量子構造設計パラメータの確定、および非輻射再結合中心解明とその密度低減対策提案を行う。具体的に以下のことを行う。
(1)混晶系の真性禁制帯幅等を解明した量子井戸構造設計と光通信波長帯域の発光素子構造を作製し、振動子強度見積りから、高効率発光可能性を評価する。
(2)p型InGaNの実現と正孔密度・移動度の混晶組成依存性を明らかにし、素子の基本要素であるp-n接合評価を行う。
(3)高効率発光へ向けたキャリアダイナミクス解析による非輻射再結合過程の解明を行う。本結晶系に特徴的な表面・界面の電子蓄積の影響を克服した赤外分光によるキャリア密度・移動度測定、分光エリプソメトリを用いた結晶表面のその場観測・制御による量子構造制御、時間分解カソードルミネッセンスによる時間・空間領域の同時分解を行い輻射・非輻射ダイナミクスの解明と高効率発光への結晶改善点を解明する。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (3件) 学会発表 (1件) 図書 (1件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Infrared analysis of hole properties of Mg-doped p-type InN films2008

    • 著者名/発表者名
      M.Fujiwara, Y.Ishitani, X.Wang, S.B.Che, and A.Yoshikawa
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 93

      ページ: 231903

  • [雑誌論文] Hole mobility in Mg-doped p-type InN films2008

    • 著者名/発表者名
      X.Wang, S.B.Che, Y.Ishitani, A.Yoshikawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 92

      ページ: 132108

  • [雑誌論文] Effect of electron distribution in InN films on infrared reflectance spectrum of longitudinal optical phonon-plasmon interaction region2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishitani, X.Wang, S.B.Che, A.Yoshikawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 103

      ページ: 053515

  • [学会発表] InN:state of the art- advances in epitaxy control, p-type doping, and novel nanostructures2008

    • 著者名/発表者名
      A.Yoshikawa, Y.Ishitani, S.B.Che, X.Wang
    • 学会等名
      Plenary talk in International workshop on nitride semiconductors 2008
    • 発表場所
      Montreux Switzerland
    • 年月日
      2008-10-06
  • [図書] Wide bandgap semiconductors2007

    • 著者名/発表者名
      K.Takahashi, A.Yoshikawa, and A.Sandhu, 編集著者 : A.Yoshikawa Y.Ishitani, 他66名
    • 総ページ数
      1-11, 407-414, 36-41
    • 出版者
      Springer Berlin
  • [備考] 国際ワークショップの開催"Topical workshop on achieving p-type InN", 平成20年3月5日-6日 元箱根 実行委員長 : 吉川明彦

  • [産業財産権] 半導体薄膜の形成方法およびその方法を用いて製造された半導体薄膜付き基板およびその半導体薄膜付き基板を用いた半導体デバイス2008

    • 発明者名
      吉川明彦, 他
    • 権利者名
      吉川明彦, 他
    • 産業財産権番号
      特許,4187422
    • 取得年月日
      2008-09-19
  • [産業財産権] 結晶軸配向性とファセット(結晶面)を制御した微結晶構造窒化物半導体光・電子素子2007

    • 発明者名
      崔成伯、吉川明彦
    • 権利者名
      千葉大学
    • 産業財産権番号
      特許,2007-279078
    • 出願年月日
      2007-10-26

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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