| 研究領域 | 光―分子強結合反応場の創成 |
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| 研究課題/領域番号 |
19049010
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
杉村 博之 京都大学, 工学研究科, 教授 (10293656)
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| 研究分担者 |
邑瀬 邦明 京都大学, 工学研究科, 准教授 (30283633)
一井 崇 京都大学, 工学研究科, 助教 (30447908)
佐藤 宣夫 京都大学, 工学研究科, 助教 (70397602)
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| キーワード | 微細加工 / 微細組立 / リソグラフィ / 自己集積化単分子膜 / 真空紫外 / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノ粒子 / ナノ加工 |
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| 研究概要 |
金属超微粒子のように大量かつ高精度に合成可能なナノオブジェクトを、光-分子強結合反応場の構成ユニットとして機能させるためには、ナノオブジェクトを固体基板上に正確に配置することが必要不可欠である。本計画研究では、トップダウン型の微細加工技術による構造構築支援を効果的に自己組織化と組み合わせることで、意図的な設計に基づく自在な形状を有する光_分子強結合反応場を構築するための微細加工・微細組立技術を開発する。本計画研究では、3つのサブテーマについて研究を進めた。
(1) 光微細加工研究:室独自の光微細加工技術である真空紫外(Vacuum Ultraviolet Lithography, VUV-L)マイクロ加工技術による、金ナノ粒子集積構造体の形成をおこなった。金ナノ粒子が離散した構造作製についてはほぼ完成した。さらに、金ナノ粒子が密集した構造の形成に着手した。
(2) ナノプローブ微細加工:100nm以下の線幅で金線多重同心円構造を作製し、その光機能を検証した。この構造は、周辺から中央へと光を集光する機能があることが確認できた。さらに、この集光機能にプラズモンカップリングを取り入れた構造の形成に着手した。
(3) 光強結合場リソグラフィ:ニトロ基の光還元反応を光励起下で起こすことに成功し、その原理を用いた単分子膜の光パターニング実験に着手した。
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