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2009 年度 自己評価報告書

配列ナノ空間物質を利用した次世代半導体デバイス

計画研究

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研究領域配列ナノ空間を利用した新物質科学:ユビキタス元素戦略
研究課題/領域番号 19051017
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関独立行政法人産業技術総合研究所

研究代表者

金山 敏彦  (独)産業技術総合研究所, ナノ電子デバイス研究センター, 研究センター長 (70356799)

研究期間 (年度) 2007 – 2011
キーワード原子分子処理 / ナノ材料 / 超薄膜
研究概要

本研究の目的は、同種元素の組み合わせで金属・半導体・絶縁体が合成できる配列ナノ空間物質の利点を最大限に活用し、ナノスケールの電界効果トランジスタを、シリコン系材料で、異種物質界面の不整合や材料構造のランダムネスを伴わずに作製するための物質構成原理を構築することである。特に、シリコンの配列ナノ空間の内部に遷移金属原子を配置することにより、半導体物質を形成効果トランジスタ動作、即ち、外部電界による伝導度変調が行えることを実証する。さらに、遷移金属内包シリコンクラスターの構造および電子状態が、荷電状態によって変化することを利用し、電界効果の物理的限界を超えうる、半導体デバイスの新動作原理を探索する。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2010 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (5件) 備考 (1件) 産業財産権 (3件)

  • [雑誌論文] First principles structure modeling for amorphous Si-rich transition metal silicides2010

    • 著者名/発表者名
      Takehide Miyazaki, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama
    • 雑誌名

      Phys. Status Solidi (c) 7

      ページ: 636-639

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structure determination of W-capsulated Si cage clusters by x-ray absorption fine structure spectra2009

    • 著者名/発表者名
      Zhihu Sun, Hiroyuki Oyanagi, Noriyuki Uchida, Takehide Miyazaki, Toshihiko Kanayama
    • 雑誌名

      J. Phys D: Appl. Phys. 42

      ページ: 015421-1-6

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of New Amorphous Semiconductors Assembled from Transition-Metal-Encapsulating Si Clusters2008

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Uchida, Hiroshi Kintou, Yusuke Matsushita, Tetsuya Tada, Toshihiko Kanayama
    • 雑誌名

      pplied Physics Express (APEX) 1

      ページ: 121502-1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] First-principles theory for Si-based, atomically thin layered semiconductor crystal2007

    • 著者名/発表者名
      Takehide Miyazaki, Toshihiko Kanayama
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 91

      ページ: 082107-1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local modification of electronic st ructure of Si (111)-7x7 surfaces by forming molybdenum-encapsulating Si clusters2007

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Uchida, Hiroshi. Yahata, To shihiko Kanayama, Leonid Bolotov
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 91

      ページ: 063109-1-3

    • 査読あり
  • [学会発表] First principles structure modeling for amorphous Si-rich transition metal silicides2009

    • 著者名/発表者名
      Takehide Miyazaki, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama
    • 学会等名
      The 23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors
    • 発表場所
      Utrecht, The Netherlands
    • 年月日
      20090823-20090828
  • [学会発表] Amorphous Si-Rich Silicide Semiconductors Assembled from Transition-Metal-Encapsulating Si Clusters2009

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Uchida, Takehide Miyazaki, Toshihiko Kanayama
    • 学会等名
      The 23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors
    • 発表場所
      Utrecht, The Netherlands
    • 年月日
      20090823-20090828
  • [学会発表] Synthesis of Amorphous Semiconductors Assembled from Transition-Metal-Encapsulating Si Clusters2009

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Uchida, Yusuke Matsushita, Hiroshi Kintou, Tetsuya Tada, Toshihiko Kanayama
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience and Quantum Physics (nanoPHYS'09)
    • 発表場所
      Minato-ku, Tokyo, Japan
    • 年月日
      20090223-20090225
  • [学会発表] Synthesis and Characterization of Clusters Assembled Films Composed of Transition-Metal Encapsulating Si Clusters"2008

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Uchida, Hiroshi Kintou, Yusuke Matsushita, Tetsuya Tada, Kazuhiho Kirihara, Hiroyuki Oyanagi, Toshihiko Kanayama
    • 学会等名
      2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2008)
    • 発表場所
      Tsukuba, Ibaraki, Japan
    • 年月日
      20080923-20080926
  • [学会発表] Formation of Si6 ring clusters stabilized by a transition metal atom2008

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Uchida, Yusuke Matsushita, Takehide Miyazaki, Hidefumi Hiura, Toshihiko Kanayama
    • 学会等名
      14th International Symposium on Small Particles and Inorganic Clusters
    • 発表場所
      Valladolid, Spain
    • 年月日
      20080915-20080919
  • [備考] Phys. Status Solidi (c), 7, 3-4の表紙を遷移金属内包シリコンクラスター物質の第一原理計算に基づく構造図が飾った

  • [産業財産権] 金属珪素化合物薄膜及びその製造方法2009

    • 発明者名
      金山敏彦、内田紀行
    • 権利者名
      (独)産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      特許・PCT/JP2009/053422
    • 出願年月日
      2009-02-25
  • [産業財産権] 薄膜トランジスタ2009

    • 発明者名
      内田紀行、金山敏彦
    • 権利者名
      (独)産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      特許・特願2009-191603
    • 出願年月日
      2009-08-21
  • [産業財産権] 金属珪素化合物薄膜及びその製造方法2008

    • 発明者名
      金山敏彦、内田紀行
    • 権利者名
      (独)産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      特許・特願2008-048520, 国内優先出願・特願2008-230650, 特願2009-037261
    • 出願年月日
      2008-02-28

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公開日: 2011-06-18   更新日: 2016-04-21  

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