| 研究領域 | 分子ナノシステムの創発化学 |
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| 研究課題/領域番号 |
20111013
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
松井 真二 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (00312306)
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| 研究分担者 |
神田 一浩 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (20201452)
春山 雄一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (10316036)
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| キーワード | ナノインプリント / ナノ空間 / 機能性分子 / 自己組織化 |
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| 研究概要 |
本年度は、1. ナノ空間を実現するナノインプリントモールド作製の研究、2. 自己組織化膜の光電子分光による材料物性評価、について研究を行った。
1ナノインプリントモールドの作製研究 : 電子ビーム描画技術を用いて、ナノモールドを作製するために、高分解能無機レジストであるHSQを用いてナノリソグラフィ研究を行った。線幅30nmmまでの加工に成功し、ナノインプリント装置を用いて、室温ナノインプリントを行った結果、良好なナノ空間を有するナノインプリントモールドの作製に成功した。
今後、本加工技術をさらに推し進め、20nmレベルのナノ空間創製に取り組む。
2光電子分光による、PMMAIPSのブロックコポリマーの自己組織化を行い、シリンダー状ドットパターン形成を走査トンネル顕微鏡観察により確認し、光電子分光により、自己組織化前後の物性評価を行いこその差異を確認した。
今後、ナノインプリントを行い、ナノインプリントモールドによるナノ空間での自己組織化現象について詳細に調べる。
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