| 研究領域 | プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成 |
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| 研究課題/領域番号 |
21110005
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
白谷 正治 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)
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| 研究分担者 |
古閑 一憲 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (90315127)
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| キーワード | プラズマ局所反応場 / ナノ界面制御 / 相互作用 / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス / 揺らぎ / コンビナトリアル摂動解析 / ナノ粒子 |
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| 研究概要 |
本研究では、サイズ制御したナノ粒子を孤立保持してプラズマとの相互作用を観察するプラズマ局所反応場を創成し、コンビナトリアル摂動解析法を確立してナノ界面・プラズマ相互作用を「見る」ことを目的とし、(1) プラズマ局所反応場の創成、(2) コンビナトリアル摂動解析、(3) ナノ粒子物性in-situ計測の3項目について研究を行う。コンビナトリアル摂動解析法では、パラメタに摂動を加え関数Gをテーラ展開し、パラメタ依存性を明らかにする。特に、複数パラメタに同時に摂動を加え、一度に複数パラメタへの依存性、シナジー効果、安定性等を解明することが可能である。
平成21年度は、プラズマ局所反応場創成のためのプラズマ反応容器の製作及び、コンビナトリアル摂動解析法実現の第1段階として、放電電力の摂動がイオン密度と電子密度に及ぼす影響の評価、水素原子源付プラズマCVD法を用いてラジカルとプラズマ密度の独立制御の実証を行った。このために、プラズマ反応容器の製作を行い、放電電力摂動で放電電力摂動と同じ周波数でイオン密度と電子密度に摂動を加えることに成功した。また、水素原子源付プラズマCVD法を用いてラジカルとプラズマ密度の独立制御に成功した。
今後は、今年度製作したプラズマ反応容器にナノ粒子を導入してプラズマ局所反応場の実現を目指すとともに、水素原子源付プラズマCVD法をプラズマ局所反応場に適用して異なる周波数でラジカルとプラズマ密度に摂動を加えてナノ粒子とプラズマの相互作用を観察する。
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