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2013 年度 実績報告書

ナノ粒子含有プラズマによるナノ界面ボンドエンジニアリングの創生

計画研究

研究領域プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成
研究課題/領域番号 21110005
研究機関九州大学

研究代表者

白谷 正治  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)

研究分担者 古閑 一憲  九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (90315127)
内田 儀一郎  大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90422435)
鎌滝 晋礼  九州大学, 学内共同利用施設等, 助教 (60582658)
SEO HYUNWOONG  九州大学, システム情報科学研究院, 助教 (00618499)
研究期間 (年度) 2009-07-23 – 2014-03-31
キーワードプラズマ局所反応場 / コンビナトリアル摂動解析 / ナノ粒子 / ナノ界面制御 / 相互作用 / ボンドエンジニアリング
研究概要

本研究では,プラズマとナノ界面の相互作用を『見る』とともに,得られた知見に基づきナノ界面ボンドエンジニアリングを創生することを目的としている.平成25年度に得られた主要成果は以下の通りである.
1.プラズマとナノ界面の相互作用を『マクロに見る』方法として,ナノ粒子生成プラズマパラメータに摂動を与え,そのナノ粒子成長への影響を調べた.ラジカルとナノ粒子成長の相互作用の解析手法として,FFT解析に加えてバイスペクトル解析を初めて適用した.その結果,プラズマパラメータの揺らぎがナノ粒子サイズを狭分散化する条件とその機構についての知見が得られた.これは,プラズマを用いたナノ構造創成において,サイズ等の揺らぎの抑制へと繋がる成果である.また,プラズマナノプロセスにおける揺らぎの制御は,非平衡統計物理学と関わりが深いことも分かった.
2.プラズマとナノ界面の相互作用を『ミクロに見る』方法として,プラズマ中に光捕捉した単一粒子のサイズ変化,位置揺らぎ,構造変化のその場計測を初めて実現した.単一粒子のエッチング速度,ラマン分光による構造変化の測定に成功した.また,プラズマ中ではイオン抗力,静電力,ガス粘性力等により捕捉単一粒子の位置揺らぎが生じることを見いだした.さらに,捕捉粒子の位置からプラズマパラメータを測定することも出来た.
3.プラズマとナノ粒子の相互作用に基づき,ナノ粒子の成長を定量的に記述する新しいモデルを提案した.このモデルにより,上記の1で得られた実験結果を説明出来る.また,ナノ粒子成長速度の安定性が良い条件でサイズが狭分散化されることを示した.
4.これまで得られた知見をもとに,ナノ界面ボンドエンジニアリングの例として,Si/SiCコアシェルナノ粒子の作製を行った.シェルの厚みを高精度に制御することにより,Li電池の電極として用いた場合に,電池容量を従来の8倍以上に増加出来ることを示した.

現在までの達成度 (区分)
理由

25年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

25年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (55件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (44件) (うち招待講演 5件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, K. Kamataki, S. Iwashita, G. Uchida, H. Seo, and N. Itagaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53 ページ: 010201

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.010201

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spatial Profile of Flux of Dust Particles Generated Due to Interaction between Hydrogen Plasmas and Graphite Target2014

    • 著者名/発表者名
      Mizuki Tateishi, Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Naoko Ashikawa, Suguru Masuzaki, Kiyohiko Nishimura, Akio Sagara
    • 雑誌名

      JPS Conf. Proc.

      巻: 1 ページ: 015020

    • DOI

      10.7566/JPSCP.1.015020

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Correlation between Nanoparticle Growth and Plasma Parameters in Low Pressure Reactive VHF Discharge Plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 雑誌名

      JPS Conf. Proc.

      巻: 1 ページ: 015083

    • DOI

      10.7566/JPSCP.1.015083

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of nanoparticle growth process using a high speed camera2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      ISPC 21 Proceedings

      巻: - ページ: 264

  • [雑誌論文] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, Y. Kanemitsu, D. Ichida, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
    • 雑誌名

      ISPC 21 Proceedings

      巻: - ページ: 212

  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Kim, T. Matsunaga, K. Nakahara, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: 228 ページ: S550–S553

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2012.04.029

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, M. Tateishi, K. Nishiyama, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, Akiko Sagara, the LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 11NA08

    • DOI

      10.7567/JJAP.52.11NA08

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 11NA07

    • DOI

      10.7567/JJAP.52.11NA07

    • 査読あり
  • [学会発表] Effects of plasma incident angle of dust production due to interactions between hydrogen plasmas and carbon wall

    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group d, S. Bornholdte, H. Kersten
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
  • [学会発表] Infrared Laser Manipulation of Single Fine Particle Levitated at Plasma/Sheath Boundary

    • 著者名/発表者名
      D. Yamashita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
  • [学会発表] High Pressure Nonthermal Methane Plasmas for Nanoparticle Production

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Kamataki, M. Shiratani, U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
  • [学会発表] Transport of nanoparticles produced in reactive plasmas using a positively-biased collector

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
  • [学会発表] Combinatorial plasma CVD of Si nanoparticle composite films for band gap control

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
  • [学会発表] Observation of nanoparticle growth process using high speed camera

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, K. Koga, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, D. Yamashita and M. Shiratani
    • 学会等名
      21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
  • [学会発表] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, and K. Koga
    • 学会等名
      21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
  • [学会発表] Formation of self-organized nanostructures using high pressure CH4+Ar plasmas

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, M. Shiratani and U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
  • [学会発表] Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in reactive plasmas

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子のサイズ分布制御

    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      平成25年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「微粒子プラズマ物理に基づいた新規ナノ材料創成」
    • 発表場所
      東北大学
  • [学会発表] Self-organized formation of hierarchically ordered patterns in laser-activated plasma CVD of sp3-bonded BN films

    • 著者名/発表者名
      S. Komatsu, M. Shiratani
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University, Japan
  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子量空間分布の変調周波数依存性

    • 著者名/発表者名
      森田康彦, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
  • [学会発表] Preparation of Si Nanoparticles by Laser Plasma and Photovoltaic Properties of the QuantumDot Sensitized Solar Cell

    • 著者名/発表者名
      P. Chewchinda, K. Hayashi, D. Ichida, H. Seo, G. Uchida, M. Shiratani, O. Odawara, H. Wada
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
  • [学会発表] Plasma Etching of Single Fine Particle Trapped By Optical Tweezers

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, D. Yamashita, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
  • [学会発表] Carbon Nanostructure formed by high pressure methane plasmas

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
  • [学会発表] Amplitude modulation frequency dependence of nanoparticle amount in plasmas

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
  • [学会発表] Production of SiC nanoparticles for Li-ion battery applications by using a high pressuremulti-hollow discharge plasma CVD

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, D. Ichida, Y. Kanemitsu, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Ishihara, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
  • [学会発表] ハイスピードカメラを用いたナノ粒子成長プロセスの観測

    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第7回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
  • [学会発表] Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering
    • 発表場所
      Haeundae Grand Hotel, Korea
    • 招待講演
  • [学会発表] グラフェン外包磁気ナノ微粒子の表面化学修飾におけるRFプラズマ中への微粒子導入の効果

    • 著者名/発表者名
      張晗, 楊恩波, 高田昇治, 内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治, 永津雅章
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 第30回年会
    • 発表場所
      東京工業大学
  • [学会発表] Novel metal oxinitride materials for optoelectronic applications

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, N. Itagaki., K. Matsushima, R. Shimizu, H. Seo, K. Koga
    • 学会等名
      2013 EMN Fall Meeting
    • 発表場所
      Orland, Florida, USA
    • 招待講演
  • [学会発表] Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in amplitude modulated capacitively coupled reactive plasmas

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, Y. Morita, S. Iwashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida
    • 学会等名
      23rd Annual Meeting of MRS-JAPAN 2013
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza, Japan
  • [学会発表] Correlation between Plasma Fluctuation and Nanoparticle Amount in Initial Growth Phase in Reactive Plasmas with Amplitude Modulation

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani
    • 学会等名
      14th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Toki, Japan
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVDにおけるa-Si:H膜中クラスター混入量に対する振幅変調放電の効果

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 橋本優史, 金光善徳, 鳥越祥宏, 徐鉉雄, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第17回支部大会
    • 発表場所
      佐世保工業高等専門学校
  • [学会発表] Nanoparticle composite plasma CVD films Fundamental and applications

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki
    • 学会等名
      The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Bohinj Park ECO Hotel, Slovenia
    • 招待講演
  • [学会発表] Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
  • [学会発表] Nanoparticle amount in reactive plasmas with amplitude modulation detected by twodimensional laser light scattering method

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
  • [学会発表] Raman spectroscopy of a fine particle optically trapped in plasma

    • 著者名/発表者名
      D. Yamashita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
  • [学会発表] Analysis of fluctuation of Ar metastable density and nanoparticle amount in capacitively coupled discharges with amplitude modulation

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
  • [学会発表] Combinatorial evaluation of optical properties of crystalline Si nanoparticle embedded Si films deposited by a multi-hollow discharge plasma CVD method

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
  • [学会発表] Plasma Nanotechnology and Solar Cells

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      2014 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
    • 招待講演
  • [学会発表] Effects of Amplitude Modulation on Stability of Hydrogenated Amorphous Silicon Films Deposited using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method

    • 著者名/発表者名
      Y. Torigoe,Y. Hashimoto, S. Toko, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      2014 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
  • [学会発表] Band gap control of nc-Si thin films deposited multi-hollow discharge plasma CVD

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
  • [学会発表] Bispectrum analysis of nanoparticle growth in reactive dusty plasmas

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
  • [学会発表] Selective removal of clusters in silane plasmas by cluster eliminating filter

    • 著者名/発表者名
      Y. Hashimoto, Y. Torigoe, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
  • [学会発表] Evaluation of Interactions between Plasmas and Interface using Optically Trapped Single Fine Particle

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
  • [学会発表] Coupling between radicals in plasmas and nanoparticle growth in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
  • [学会発表] Control of nanoparticle formation in reactive plasmas: model and experiments

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      プラズマ制御科学研究センター2013年度第2回研究会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学
    • 招待講演
  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子成長のバイスペクトル解析

    • 著者名/発表者名
      森田康彦, 伊東鉄平, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲 , 白谷正治
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
  • [学会発表] プラズマ中に光捕捉した単一微粒子を用いたプラズマと界面の相互作用評価

    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 森田康彦, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
  • [学会発表] プラズマプロセスによるグラファイト被覆金属ナノ微粒子の表面修

    • 著者名/発表者名
      永津雅章, 楊恩波, Anchu Viswan, 張晗, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
  • [学会発表] グラファイト外包磁気ナノ微粒子噴上げ効果を利用したAr/NH3 RFプラズマによる表面修飾の高効率化とプラズマ表面相互作用の分光計測

    • 著者名/発表者名
      張晗,, 楊恩波, 古閑一憲, 白谷正治, 永津雅章
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
  • [学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長とプラズマ揺らぎ

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
  • [学会発表] ナノ粒子含有振幅変調放電プラズマ中のAr準安定原子密度

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 森田康彦, 伊東鉄平, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      日本物理学会 第69回年次大会
    • 発表場所
      東海大学
  • [備考] 新学術領域研究 プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成

    • URL

      http://mm4.ed.kyushu-u.ac.jp/kyudai/index.html

  • [備考] 九州大学 プラズマナノ界面工学センター

    • URL

      http://plasma.ed.kyushu-u.ac.jp/~cpne/

  • [備考] 九州大学 プラズマ工学研究室

    • URL

      http://plasma.ed.kyushu-u.ac.jp/

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公開日: 2015-05-28  

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